Sub-Halfmicron Lithography Using an I-line Modified Illumination Techniques

Youn suk Lee ,  Seung Chan Moon ,  Tai Kyung Won 외 5명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1993 .01

Sub-Halfmicron Processing Optimization by Constant Enhancement Lithography for I-Line

S. C. Moon ,  K. Y. Kim ,  Y. I. Kim 외 3명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

Sub-halfmicron 급 소자분리를 위한 SIROX Isolation의 물리적, 전기적 특성 고찰

반천수 ,  김윤기 ,  김용배 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

1992 .01

스테퍼 모터를 위한 비선형 제어기법의 개관

김원희 ,  신동훈 ,  이영우 외 1명

제어로봇시스템학회 논문지

2014 .03

Linear stepper 형 surface motor의 구동 특성 예측과 과도특성 개선에 관한 연구

최진욱 ,  양선호 ,  박철우

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

1998 .10

Evaluation of Lithographic Performance of X-Ray Stepper XS-1

T. Taguchi ,  S. Mitsui ,  Y. Tanaka 외 14명

International Conference on Electronics, Informations and Communications

1998 .01

Optical Stepper 의 이중노광에 의한 미세한 포토레지스트 패턴의 형성 ( Very Fine Photoresist Pattern Formation using Double Exposure of Optical Wafer Stepper )

양전욱 ,  김봉렬 ,  박철순 외 1명

전자공학회논문지-A

1994 .07

Nonlinear Observer for Permanent Magnet Stepper Motor

Wonhee Kim ,  Induk Choi ,  Chung Choo Chung 외 1명

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2009 .09

A Study on Nanostructure Fabricated by Stepper Process

E. J. Yeo ,  C. Pa ,  k 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Velocity Control of Permanent Magnet Stepper Motor Using Nonsingular Terminal Sliding Mode Controller

WEIMING YANG ,  Yong Woo Jeong ,  Chung Choo Chung

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2019 .05

Optimum placement of the stepper motor on the lift pin up/down drive unit considering the operating temperature limit

Nico S. Effendi ,  Byoung Guk Kim ,  Jeong Sik Pa 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Phase Shift Focus Monitor Reticle을 이용한 Stepper 평가 ( Application of Phase Shift Focus Monitor Reticle to the Evaluation of Stepper Lenses )

박정철 ,  계종욱 ,  문성용 외 2명

대한전자공학회 워크샵

1996 .01

Microstep Stepper Motor Control Based on FPGA Hardware Implementation

So ,  awat Chivap ,  eecha 외 1명

제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집

2005 .06

3D Registration from 2D Images

Sang-Hoon Kim ,  Suk-Pil Ko ,  Yong-In Yoon 외 1명

대한전자공학회 워크샵

2004 .02

웨이퍼 스텝퍼의 정렬정확도 측정에 관한 연구

이종현 ,  장원익 ,  이용일 외 5명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

1994 .02

웨이퍼 스텝퍼의 중첩정밀도 측정에 관한 연구

이종현 ,  장원익 ,  이용일 외 7명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

1993 .05

Polymer registration system in main countries And Understanding of the registration system in K-REACH

Seok-Jong Jeon ,  Hee-June Shin ,  ByungWook Jo

한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집

2016 .10

Electron Beam Direct Writing for Miz-and-Match with Stepper

Sang Bo Lee ,  Yeo Hwan Kim ,  Hye Keun Oh 외 3명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1991 .01

UV-oxidative Treatment of Bio-refractory Organic Halogens In Leachate: Comparison between UV/O3, UV/H2O2, and UV/H2O2/O3 Processes : Comparison between UV/O₃, UV/H₂O₂, and UV/H₂O₂/O₃ Processes

Tahi ,  Im ,  an Qu 외 2명

Environmental Engineering Research

2006 .04

UV LED 노광기용 Heat sink 방열성능 연구

김은혜 ,  임유정 ,  장명진 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2019 .05