수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

첨단기술 어디까지 왔나 - 화학기상성장법(CVD)편 (하)

김경호

발명특허

1987 .01

첨단기술 어디까지 왔나 - 화학기상성장법(CVD)편 (중)

김경호

발명특허

1987 .01

첨단기술 어디가지 왔나 - 화학기상성장법(CVD)편 (상)

김경호

발명특허

1987 .01

Numerical Study on Silicon CVD in Horizontal Reactors

U. Na ,  usawa

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성에 관한 연구

유환성 ,  박근영 ,  류지호 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

1993 .07

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

국소교란에 의한 난류 박리 재부착 유동의 수치해석 ( Nemerical simulation of turbulent separated and reattaching flows by local forcing )

리광훈 ,  성현진

대한기계학회 춘추학술대회

1999 .01

열선 화학 기상증착법에 의한 다결정 실리콘 박막의 고속 저온 증착

이정철 ,  강기환 ,  김석기 외 3명

한국재료학회 학술발표대회

2001 .01

Laser CVD에 의한 비정질 실리콘 박막 형성

박근영 ,  유환성 ,  류지호 외 2명

대한전자공학회 학술대회

1993 .07

대구경 회전 증착에 관한 CVD 반응기 내부의 열물질 해석연구

이성봉 ,  장혁 ,  김광선 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2000 .06

새로운 액적증발모델에 의한 디젤분무거동의 수치적 해석 ( Nemerical Analysis of the Diesel Spray Behavior by the New Droplet Evaporation Model )

송흥종 ,  차건종 ,  김덕줄

대한기계학회 춘추학술대회

1999 .01

最近의 數値電界計算法 (Ⅲ)

朴鍾根

전기의세계

1985 .12

개정 의장법의 주요내용

김중효

발명특허

1990 .01

NEMERICAL STUDY ON THE SCALED DOWN MODEL OF NREL PHASE VI ROTOR

Wan Ho Jeon ,  Tae Gyun Lim ,  Tae Hwan Cho

AFORE

2013 .11

최근의 數値電界計算法(Ⅰ)

朴鍾根

전기의세계

1985 .05

Numerical Modeling on Epitaxial Growth of Silicon in a Planetary CVD Reactor

Zahe ,  Ramadan ,  Ik-Tae Im

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

Thermal CVD 반응기 내부의 열 유동장에 대한 수치해석적 연구

김윤호 ,  이영석 ,  리광훈

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

A STUDY ON FILM DEPOSITION MECHANISM OF SILICON DIOXIDE ( SiO2 ) FORMED BY PHOTO CVD

Ji Ho Ryoo ,  Yu Jin Ju ,  Jong Kwan Kim 외 1명

ICVC : International Conference on VLSI and CAD

1995 .01

CVD 반응기내 기체유동의 균일성 향상에 관한 수치적 연구

김유재 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08