Numerical Study on Silicon CVD in Horizontal Reactors

U. Na ,  usawa

International Symposium on Transport Phenomena in Thermal Engineering

1993 .05

수평 및 수직형 CVD 증착로의 실리콘 부착에 관한 수치해석 ( Numerical Analysis of Silicon Deposition in Horizontal & Vertical CVD Reactor )

김인 ,  백병준

대한기계학회 논문집 B권

2002 .03

Heat and Mass Transfer in Continuous CVD Reactors

Wilson K. S. Chiu ,  Yogesh Jalu ,  ia

Heat Transfer Conference

1998 .08

CVD 기술동향

송주호

전자공학회지

2001 .08

CVD 반응기내 기체유동의 균일성 향상에 관한 수치적 연구

김유재 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

DEPOSITION OF A-SIC : H FILMS ON AN UNHEATED SI SUBSTRATE BY LOW FREQUENCY (50㎐) PLASMA Cvd

M. Shimozuma ,  K. Iba ,  agi 외 5명

한국표면공학회지

1996 .12

Thermal CVD 반응기 내부의 열 유동장에 대한 수치해석적 연구

김윤호 ,  이영석 ,  리광훈

대한기계학회 춘추학술대회

2004 .08

CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 유동 특성 연구 ( A Study on the Flow Characteristics over the Rotating Susceptor in CVD Reactor )

차관 ,  김윤제 ,  부진효

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .01

Si 선택적 성장을 위한 대형 CVD 반응기 내의 열 및 유동해석

장연호 ,  고동국 ,  임익태

반도체디스플레이기술학회지

2016 .01

Laser Crystallization of a-Si:H films prepared at Ultra Low Temperature( $ < 150^{\circ}C$) by Catalytic CVD

Lee ,  Sung-Hyun ,  Hong 외 20명

한국정보디스플레이학회 International Meeting

2005 .01

CVD 반응로 내부 회전 원판 주위의 열 및 물질 전달 특성 연구

차관 ,  김윤제

대한기계학회 춘추학술대회

2001 .09

대구경 회전 증착에 관한 CVD 반응기 내부의 열물질 해석연구

이성봉 ,  장혁 ,  김광선 외 1명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2000 .06

새로운 CVD 방법에 의하여 제작된 실리콘 박막의 특성 연구 ( Characterization of Silicon Thin Films Prepared by New CVD Technique )

김성철 ,  이승규 ,  정창영 외 5명

대한전자공학회 학술대회

1989 .07

수면호흡장애 환자의 인공지능 기반 심혈관질환 예측 모델

박종욱 ,  류지승 ,  강승영 외 3명

대한전자공학회 학술대회

2020 .08

고품질 질화물 반도체 박막 성장을 위한 반응로 구조 및 열적 조건에 관한 연구

김진택 ,  백병준 ,  이철로 외 1명

대한기계학회 논문집 B권

2004 .12

Convective Heat Transfer and Flow Stability in Rotating Disk CVD Reactors

William S. Winte ,  s ,  G 외 3명

Heat Transfer Conference

1998 .08

초음파를 이용한 CVD 다이아몬드 평가기법

김훈희 ,  송성진 ,  김학준

대한기계학회 춘추학술대회

2011 .05

CVD 방식 그래핀 코팅의 구조적 특성과 물성

올릭세이 펜코브 ,  김현준 ,  김대은

한국트라이볼로지학회 학술대회

2013 .04

고주파 발진기를 이용한 CVD 장치의 제작 및 평가 ( Fabrication and Evaluation of CVD System using R. F. Generator )

김정회 ,  김철주

대한전자공학회 학술대회

1985 .01