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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
곽호상 (금오공과대학교)
저널정보
한국전산유체공학회 한국전산유체공학회지 한국전산유체공학회지 제17권 제1호
발행연도
2012.3
수록면
86 - 93 (8page)

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A numerical investigation is conducted to search for the optimal flow rate for a rotating-disk chemical vapor decomposition reactor operating at a high temperature and a low pressure. The flow of a gas mixture supplied into the reactor is modeled by a laminar flow of an ideal gas obeying the kinetic theory. The axisymmetric two-dimensional flow in the reactor is simulated by employing a CFD package FLUENT. With operating pressure and temperature fixed, numerical computations are performed by varying rotation rate and flow rate. Examination of the structures of flow and thermal fields leads to a flow regime diagram illustrating that there are a stable plug-like flow regime and a few unfavorable flow regimes induced by mass unbalance or buoyancy. The criterion for sustaining a plug-like flow regime is discussed based on a theoretical scaling argument. Interpretation of the flow regime map suggests that a favorable flow is attainable with a minimum flow rate at the smallest rotation rate guaranteeing the dominance of rotation effects over buoyancy.
#화학증착(CVD #Chemical Vapor Deposition) #회전원판(Rotating Disc) #최적 유량(Optimal Flow Rate) #유동 안정성(Flow Stability) #플러그 유동(Plug Flow) #부력구동유동(Buoyancy-Induced Flow)

목차

1. 서론
2. 해석모델
3. 해석 결과 및 토론
4. 결론
후기
참고문헌

참고문헌 (16)

참고문헌 신청
1. [인터넷자원] - Creighton, J.R / / Introduction to Chemical Vapor Desposition / ASM International google schola 2. [단행본] - Schlichting, H. / 1979 / Flow over a Rotating Disk, In Boundary Layer Theory / McGraw-Hill google schola 3. [학술지(정기간행물)] - Nakamura, S / 1997 / III-V Nitride Based Light Emitting Devices / Solid State Commun 102 (2) : 237 ~ 248 google schola 4. [단행본] - Stringfellow / 1999 / Organic Vapor-Phase Expitaxy: Theory and Practice / Academic Press google schola 5. [학술지(정기간행물)] - Theodoropoulos, C. / 2000 / Design of Gas Inlets for the Growth of Gallium Nitride by Metalorganic Vapor Phase Epitaxy / J. Crystal Growth 217 : 65 ~ 81 google schola

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