LiTaO₃ CMP에서 슬러리 구성요소에 따른 재료제거 특성 연구

이재욱 ,  이지은 ,  김도훈 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

LiTaO₃ 기판 CMP 슬러리 내 킬레이트제에 관한 연구

이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

LiTaO₃ CMP에서 슬러리 첨가제에 따른 재료제거율 연구

이재욱 ,  이지은 ,  안형주 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

LiTaO₃ 웨이퍼 그라인딩과 CMP 에서의 표면 손상층에 관한 연구

이재욱 ,  안형주 ,  이지은 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

건식 및 습식 조건에서 LiTaO₃ 웨이퍼와 그라인딩 휠 세그먼트의 트라이볼로지 연구

주애림 ,  구창현 ,  강인지 외 3명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2023 .10

LiTaO₃ 웨이퍼 연삭에 모서리 형상이 미치는 영향에 대한 연구

황해성 ,  조예진 ,  김용훈 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .12

구리 후막용 CMP 슬러리의 환경 영향 평가

이현섭

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .10

LiTaO₃ 웨이퍼용 연삭휠의 형상에 따른 마모량에 관한 연구

황해성 ,  이현섭

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

슬러리와 산소 가스의 비율 조절을 통한 실시간 CMP 온도제어

이다솔 ,  이기훈 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

다층구조의 CMP 슬러리 여과용 필터 제조 특성 연구

채효정

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2021 .12

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

라만 분광법을 이용한 CMP 공정에서의 슬러리 성분 및 농도 분석

정은수 ,  유진욱 ,  최태민 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

전해 이온화 슬러리를 이용한 CMP에서 전극 소재에 따른 마찰 특성

이현섭 ,  조예진 ,  김용훈 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2022 .04

니켈 전극을 이용한 전해 이온화 슬러리 CMP 특성 연구

이현섭 ,  조예진 ,  김용훈 외 1명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .04

구리/폴리머의 CMP에서 슬러리 첨가제가 선택비에 미치는 영향

장수천 ,  유민종 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

Effect of Slurry Flow in Spray Slurry Nozzle System on Cu CMP

이다솔 ,  정선호 ,  이종우 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .02

CMP 공정에서 슬러리 분산 안정성 향상을 위한 첨가제 적용 및 최적화 연구

정희숙

한국에너지기후변화학회 학술대회

2024 .11

전기화학적 특성 분석을 이용한 스테인리스강의 유형에 따른 CMP 슬러리 조성 최적화

이다솔 ,  이현섭 ,  정선호 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .05