LiTaO₃ 초박판화를 위한 CMP 슬러리 연구

이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

LiTaO₃ CMP에서 슬러리 구성요소에 따른 재료제거 특성 연구

이재욱 ,  이지은 ,  김도훈 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

LiTaO₃ 웨이퍼용 연삭휠의 형상에 따른 마모량에 관한 연구

황해성 ,  이현섭

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

건식 및 습식 조건에서 LiTaO₃ 웨이퍼와 그라인딩 휠 세그먼트의 트라이볼로지 연구

주애림 ,  구창현 ,  강인지 외 3명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2023 .10

LiTaO₃ 기판 CMP 슬러리 내 킬레이트제에 관한 연구

이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

LiTaO₃ 웨이퍼 연삭에 모서리 형상이 미치는 영향에 대한 연구

황해성 ,  조예진 ,  김용훈 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .12

LiTaO₃ 웨이퍼 연삭에서 다이아몬드 입자에 의한 충돌에 관한 해석적 연구

황해성 ,  한승호 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

LiTaO₃ 웨이퍼용 연삭휠의 회전속도에 따른 마모에 관한 수치적 연구

황해성 ,  이현섭

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

LiTaO₃ CMP에서 슬러리 첨가제에 따른 재료제거율 연구

이재욱 ,  이지은 ,  안형주 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

패턴 밀도에 따른 산화막 웨이퍼의 CMP 모델링

김현진 ,  박병준 ,  정선호 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

랩그라인딩 압력에 따른 CMP 공정 결과에 대한 연구

서준영 ,  김태경 ,  손준규 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

CMP 공정 조건에 따른 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 관한 연구

박상현 ,  이종찬 ,  안범상

한국트라이볼로지학회 학술대회

2016 .04

웨이퍼의 대구경화가 Cu CMP 의 연마율에 미치는 영향

유민종 ,  정해도 ,  박인호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

랩그라인딩 후 사파이어 웨이퍼의 표면거칠기가 화학기계적 연마에 미치는 영향

서준영 ,  이현섭

Tribology and Lubricants

2019 .12

CMP 용 멤브레인형 연마 헤드가 웨이퍼와 패드 표면의 응력 분포에 미치는 영향

김도연 ,  이태경 ,  김형재

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

Common-path Optical Interferometry for On-site Measurement of CMP Pad Surface

W. J. Choi

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

CMP 에서 리테이너 링의 내경이 웨이퍼 에지 프로파일에 미치는 영향

이종우 ,  이창석 ,  정선호 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Cu CMP에서 웨이퍼 크기에 따른 스프레이 노즐의 효과

이다솔 ,  정해도 ,  정진엽 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12