LiTaO₃ 웨이퍼용 연삭휠의 회전속도에 따른 마모에 관한 수치적 연구

황해성 ,  이현섭

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

LiTaO₃ 웨이퍼 연삭에 모서리 형상이 미치는 영향에 대한 연구

황해성 ,  조예진 ,  김용훈 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2022 .12

건식 및 습식 조건에서 LiTaO₃ 웨이퍼와 그라인딩 휠 세그먼트의 트라이볼로지 연구

주애림 ,  구창현 ,  강인지 외 3명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2023 .10

LiTaO₃ 웨이퍼 그라인딩과 CMP 에서의 표면 손상층에 관한 연구

이재욱 ,  안형주 ,  이지은 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .06

LiTaO₃ 웨이퍼 연삭에서 다이아몬드 입자에 의한 충돌에 관한 해석적 연구

황해성 ,  한승호 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

LiTaO₃ CMP에서 슬러리 구성요소에 따른 재료제거 특성 연구

이재욱 ,  이지은 ,  김도훈 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

LiTaO₃ 기판 CMP 슬러리 내 킬레이트제에 관한 연구

이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

LiTaO₃ 초박판화를 위한 CMP 슬러리 연구

이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

웨이퍼 연삭에서 웨이퍼 및 휠의 회전 방향에 따른 연삭액 유동에 관한 연구

이현섭 ,  이상직 ,  강필식

한국트라이볼로지학회 학술대회

2022 .10

웨이퍼 연삭에서 공정 조건에 따른 연삭액의 유동 특성에 관한 연구

이현섭 ,  조예진 ,  김용훈 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

웨이퍼 연삭가공에서 형상정밀도 향상을 위한 이론적 모델링에 관한 연구

이상직 ,  강필식 ,  김도연 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

웨이퍼 연삭 공정의 이론적 모델링을 이용한 형상정밀도 향상 기술에 관한 연구

이상직 ,  강필식 ,  황경환

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

LiTaO₃ CMP에서 슬러리 첨가제에 따른 재료제거율 연구

이재욱 ,  이지은 ,  안형주 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2024 .11

마이크로 드릴비트 연마 시스템 연삭휠의 마모 진단 연구

김민섭 ,  허장욱

한국기계가공학회지

2022 .03

오비탈 연삭시스템 연삭숫돌의 연삭가공 열 해석

이현민 ,  최우천 ,  조창래 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .05

반도체 웨이퍼 진공 스테이지용 알루미나(Al₂O₃)의 연삭 특성에 관한 연구

이승용 ,  박세진

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .11

내면 플런지 연삭과 스러스트 연삭의 비교

최환 ,  서창연 ,  서영일 외 1명

한국기계가공학회지

2016 .02

SiC 웨이퍼 연삭 공정 상태감시

황경환 ,  김동한 ,  이상직

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2022 .07

다중센서 융합에 의한 SiC 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시

황경환 ,  김동한 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

머시닝센터를 이용한 내면 스러스트 연삭가공에 관한 연구

최환 ,  서창연 ,  박원규 외 1명

한국기계가공학회지

2015 .08