Area-Selective Atomic Layer Deposition by Chemo-Selective Inhibition of Alkyl Aldehyde Molecules on Nitride Surfaces

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저자정보: Jieun Oh (Hanyang University) Jeong-Min Lee (Hanyang University) Woo-Hee Kim (Hanyang University)

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#Area-selective atomic layer deposition #Ruthenium #Aldehyde inhibitor #Chemo-selective adsorption #Nitride-blocking capability

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