Area-Selective Atomic Layer Deposition by Chemo-Selective Inhibition of Alkyl Aldehyde Molecules on Nitride Surfaces

Jieun Oh ,  Jeong-Min Lee ,  Woo-Hee Kim

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2024 .10

Area-Selective Atomic Layer Deposition of High-Quality Ru Thin Films by Chemo-Selective Adsorption of Short Alkylating Agents

이정민 ,  이서현 ,  오지은 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

고체 산화물 연료전지의 연료극에 플라즈마 원자층 증착법으로 증착된 루테늄의 응용

계승현 ,  김형준 ,  고도현 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2020 .09

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

Aldehyde Treatment Using Aldehyde Dehydrogenase from Egg White

Seyoung LEE ,  Jihee YOON ,  Seung Hyuck BANG 외 2명

한국생물공학회 학술대회

2015 .10

Selective atomic layer deposition of AL2O3 onto monolayer graphene

김장헌 ,  김수현 ,  정원석

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .05

원자층 증착법으로 증착된 MoO_x를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지

정민지 ,  조영준 ,  이선화 외 4명

한국재료학회지

2019 .01

Evaluation of Aldehyde Reduction Activity Using Cytosolic Extract from Aldehyde Dehydrogenase 6 Overexpressed Yeasts

Seyoung LEE ,  Jihee YOON ,  Seung Hyuck BANG 외 2명

한국생물공학회 학술대회

2016 .04

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

The Properties of ZrO₂ Film Deposition by ALD at Low Temperature

양병찬 ,  신정우 ,  권혁동 외 1명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .10

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

Advanced Atomic Layer Deposition: Ultrathin metal film growth using discrete feeding method and electric potential assisted-atomic layer deposition

Ji Won Han ,  Hyun Soo Jin ,  Yoon Jeong Kim 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비

정헌준 ,  박종선 ,  임진혁 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

원자층 증착법을 이용한 루테늄 증착과 메탄 연료 저온 고체산화물 연료전지로의 응용

고도현 ,  계승현 ,  양병찬 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Area-Selective Atomic Layer Deposition Using Vapor Dosing of Short-Chain Alkanethiol Inhibitors on Metal/Dielectric Surfaces

이정빈 ,  이정민 ,  김우희

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

Effect of Deposition Temperature on Mechanical Properties of Freestanding ALD Al₂O₃ Thin Films

S. Lee ,  J. Koo ,  J. Kim 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

SiO₂ bottom-up trench fill of a high aspect ratio hole by plasma enhanced atomic layer deposition using a very high frequency plasmas and inhibitor surface treatment

안규환 ,  김호곤 ,  이용기 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06