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소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
R2R 기반 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템에 관한 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
Area-Selective Atomic Layer Deposition of High-Quality Ru Thin Films by Chemo-Selective Adsorption of Short Alkylating Agents
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
공간 분할형 상압 원자층 증착 시스템 개발
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
표면 반응 제어를 통한 영역 선택적 원자층 증착법 연구 동향
한국표면공학회지
2022 .12
Area-Selective Atomic Layer Deposition and Atomic Layer Etching for 3-D Nano-Patterning Processes
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2017 .11
상압 기반의 공간분할형 원자층 증착(ALD) 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .12
원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .10
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
Enhanced Selectivity on Area-Selective Atomic Layer Deposition by Using Short-Chain Alkylating Inhibitors
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2021 .12
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
연구용 초소형 원자층 층착 장치 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .05
원자층 증착법으로 증착된 MoO<sub>x</sub>를 적용한 전하 선택 접합의 이종 접합 태양전지
한국재료학회지
2019 .01
입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
저온.상압 공정 기반 멀티 슬릿 구조의 원자층 증착 헤드 개발에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .04
Area-Selective Atomic Layer Deposition by Chemo-Selective Inhibition of Alkyl Aldehyde Molecules on Nitride Surfaces
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2024 .10
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
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