[Tech Note] KAIST, 실시간 나노 측정 가능한 3D 표면 예측 기술 개발

김진희

자동인식·비전

2023 .02

Tech Note

이동재

자동인식·비전

2023 .12

반도체 웨이퍼 제조 공정에서 품질과 생산성을 고려한 웨이퍼 할당 방법

이동희 ,  이창호 ,  최승현 외 2명

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2018 .11

KAIST_100배 정밀한 신개념 빛 측정 센서 개발

서재창

전자기술

2024 .10

KAIST - 변화에 민감한 사용자도 맞춰주는 AI 기술 개발

서재창

전자기술

2024 .09

SOI 웨이퍼의 전체 물리적 두께 측정

배재석 ,  박정재 ,  진종한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

웨이퍼 지연을 고려한 반도체 제조용 양 팔 클러스터 장비의 강화학습 기반 스케줄링

홍철희

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2018 .04

강화학습을 이용한 웨이퍼의 품질과 다품종 생산을 고려하는 반도체 제조 장비 스케줄링

김민찬

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2021 .11

회귀분석을 이용한 반도체 웨이퍼 기울기 조절의 영향 인자 도출 및 개선

길준혁 ,  이나영 ,  신윤경 외 1명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2023 .05

딥러닝을 활용한 반도체 웨이퍼 불량 유형 구분 모델에 관한 연구

백선재 ,  이민혁

한국통신학회 학술대회논문집

2022 .02

클러스터 장비 내 웨이퍼 품질 향상을 위한 스케줄링: 웨이퍼 지연 및 흐름시간 제어

김민찬 ,  유태선

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2022 .06

KAIST 친환경스마트자동차 연구센터

강남우 ,  송길태

정보과학회지

2022 .06

다중센서 기반 웨이퍼 연삭 공정 상태 감시 시스템 개발

황경환 ,  이상직

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .11

관측치 간 공간적 유사성과 변수의 상관관계를 고려한 반도체 웨이퍼 테스트 데이터의 결측치 대체 방법 개발

김주영 ,  김광재

대한산업공학회 추계학술대회 논문집

2022 .11

KAIST_강유전체 활용 차세대 반도체 메모리 혁신

서재창

전자기술

2025 .02

반도체 에칭 공정에서 웨이퍼 내의 공간 위치를 고려한 가상 계측 모형

이한강 ,  김창욱 ,  장재연 외 2명

대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집

2017 .04

KAIST_KAIST-LG에너지솔루션, 리튬금속전지 기술 혁신

서재창

전자기술

2024 .03

[KAIST] 뉴로모픽 반도체 신개념 메모리 소자 개발

서재창

전자기술

2024 .05

(주)엔텍

양준모

대한토목학회지

2020 .07

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09