지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2024.8
- 수록면
- 222 - 232 (11page)
- DOI
- 10.7232/JKIIE.2024.50.4.222
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Semiconductor manufacturing processes are a fundamental component of modern industry and technology. Anomalies in this process degrade product quality and reliability, necessitating swift responses. To address this, various studies have been conducted on anomaly detection and efficient management using artificial intelligence algorithms. However, there are limitations that fail to consider the characteristics of actual process data, such as irregular patterns, numerous missing values, and varying data lengths. In this study, we propose to overcome these limitations by using image data with scatter plots applied to actual process data, employing a siamese network-based anomaly classification model based on the similarity with normal segments. Additionally, we apply gradient-weighted class activation map (Grad-CAM) to the siamese network model for identifying the main causes of abnormal segments. The validity and applicability of the proposed method have been demonstrated using data obtained from actual semiconductor manufacturing processes. The proposed method shows superiority in all comparative models. Furthermore, it has been confirmed that the main cause of the abnormal segment aligns with the abnormal judgment criteria for a specific segment of the field engineer.
목차
1. 서론
2. 배경 방법론
3. 방법론
4. 실험
5. 결론
참고문헌
참고문헌 (32)
참고문헌 신청
Ahrabian, K. and BabaAli, B. (2019), Usage of Autoencoders and Siamese Networks for Online Handwritten Signature Verification, Neural Computing and Applications, 31, 9321-9334.
Alrashidi, A., Alotaibi, A., Hussain, M., AlShehri, H., AboAlSamh, H. A., and Bebis, G. (2021), Cross-sensor Fingerprint Matching Using Siamese Network and Adversarial Learning, Sensors, 21(11), 3657.
Arrieta, A. B., Díaz-Rodríguez, N., Del Ser, J., Bennetot, A., Tabik, S., Barbado, A., García, S., Gil-López, S., Molina, D., and Benjamins, R. (2020), Explainable Artificial Intelligence (XAI): Concepts, Taxonomies, Opportunities and Challenges Toward Responsible AI, Information Fusion, 58, 82-115.
Bandara, W. G. C. and Patel, V. M. (2022, July), A Transformer-based Siamese Network for Change Detection. In IGARSS 2022-2022 IEEE International Geoscience and Remote Sensing Symposium, IEEE, 207-210.
Chen, J., Yuan, Z., Peng, J., Chen, L., Huang, H., Zhu, J., ... and Li, H. (2020), DASNet: Dual Attentive Fully Convolutional Siamese Networks for Change Detection in High-resolution Satellite Images, IEEE Journal of Selected Topics in Applied Earth Observations and Remote Sensing, 14, 1194-1206.
Alrashidi, A., Alotaibi, A., Hussain, M., AlShehri, H., AboAlSamh, H. A., and Bebis, G. (2021), Cross-sensor Fingerprint Matching Using Siamese Network and Adversarial Learning, Sensors, 21(11), 3657.
Arrieta, A. B., Díaz-Rodríguez, N., Del Ser, J., Bennetot, A., Tabik, S., Barbado, A., García, S., Gil-López, S., Molina, D., and Benjamins, R. (2020), Explainable Artificial Intelligence (XAI): Concepts, Taxonomies, Opportunities and Challenges Toward Responsible AI, Information Fusion, 58, 82-115.
Bandara, W. G. C. and Patel, V. M. (2022, July), A Transformer-based Siamese Network for Change Detection. In IGARSS 2022-2022 IEEE International Geoscience and Remote Sensing Symposium, IEEE, 207-210.
Chen, J., Yuan, Z., Peng, J., Chen, L., Huang, H., Zhu, J., ... and Li, H. (2020), DASNet: Dual Attentive Fully Convolutional Siamese Networks for Change Detection in High-resolution Satellite Images, IEEE Journal of Selected Topics in Applied Earth Observations and Remote Sensing, 14, 1194-1206.
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Drawing quality prediction using the Siamese deep neural network
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2023 .05
-
An Efficient Object Tracking Approach in Siamese Networks using Multi- Feature Fusion
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2024 .07
-
Siamese Network의 특징맵을 이용한 객체 추적 알고리즘
멀티미디어학회논문지
2021 .06
-
CNN-Siamese Networks를 활용한 문자 상표 발음 유사성 탐지
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2022 .06
-
합성 샴 신경망을 이용한 화자 인식
전기학회논문지
2020 .01
-
Siamese 네트워크의 템플릿 업데이트를 통한 적외선 영상 표적 추적 기법 연구
한국항공우주학회 학술발표회 초록집
2024 .11
-
샴 네트워크 모델을 이용한 이미지 특징 차이 기반 쓰레기 감지 연구
멀티미디어학회논문지
2024 .10
-
유사도 기반 객체 추적을 위한 자기 집중 기반 샴 네트워크
한국정보과학회 학술발표논문집
2020 .12
-
Segment 기반 재난 정보 제공 시스템 설계
한국방송미디어공학회 학술발표대회 논문집
2019 .06
-
연상작용과 샴 네트워크를 통한 문장 유사도 판별
대한산업공학회지
2020 .04
-
GTOE : Anomaly Detection Geometric Transformation Network with Outlier Exposure for Real Industry Data
제어로봇시스템학회 국제학술대회 논문집
2021 .10
-
분절벡터의 변형을 고려하는 상대위치 추정시 변형관련 인자 선정의 영향성 고찰
제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집
2021 .06
-
제품 결함 탐지에서 데이터 부족 문제를 극복하기 위한 샴 신경망의 활용
한국정보통신학회 종합학술대회 논문집
2022 .05
-
Batch Hard Loss 기반의 Siamese Networks를 이용한 조직 병리학 이미지의 Few-shot 분류
한국정보과학회 학술발표논문집
2019 .12
-
C-Segment 전기자동차 시스템 분석 및 설계
대한전기학회 학술대회 논문집
2022 .07
-
진동 데이터 특징 추출 과정 내 Segment 설정에 따른 고장 진단율 영향도 분석
한국CDE학회 논문집
2023 .03
-
Segment representation을 이용한 트랜스포머 기반의 특허 문서 분류 모델
한국정보과학회 학술발표논문집
2024 .06
-
7-Segment 숫자 인식을 통한 자동 드론 제어 시스템
한국정보과학회 학술발표논문집
2017 .12
-
CNN 모델과 샴 네트워크를 이용한 얼굴 인식 성능 비교
멀티미디어학회논문지
2023 .02
-
Siamese 네트워크 기반 영상 객체 추적 기술 동향
[ETRI] 전자통신동향분석
2022 .02
이 논문과 함께 이용한 논문
생산 라인 가용성 기반 반도체 생산 계획 최적화 모형
고동우
,
이승훈
대한산업공학회지
2025
.04
열간압연 제품의 폭 방향 온도 불량 분류를 위한 준지도 학습
김경수
,
김성범
경영과학
2024
.06
1d CNN-LSTM 모델을 활용한 제조 볼트 체결 프로세스 시계열 데이터 이상 감지 방법론 개발
송선화
,
정철환
,
조성준
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2024
.05
화학 도메인에 특화된 거대 언어 모델 구축을 위한 지시어 튜닝
이정민
,
김현지
,
이성수
외 3명
대한산업공학회지
2025
.04
누적 재구축 오차 기반 차량 노후화 지표
윤지현
,
추창욱
,
허종국
외 3명
대한산업공학회지
2025
.04
최근 본 자료
댓글(0)
0