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Munse Kim (Korea Institute of Energy Research) Hee-Eun Song (Korea Institute of Energy Research) Sung Eun Park (Korea Institute of Energy Research) Yunae Cho (Korea Institute of Energy Research) Yong-Jin Kim (Korea Institute of Energy Research) Dohyung Kim (Korea Institute of Energy Research) Kyung Taek Jeong (Korea Institute of Energy Research) Min Gu Kang (Korea Institute of Energy Research) Sang Hee Lee (Korea Institute of Energy Research) Ka-Hyun Kim (Chungbuk National University)
저널정보
한국신재생에너지학회 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 한국신재생에너지학회 2023년도 춘계학술대회 [초록집]
발행연도
2023.6
수록면
288 - 288 (1page)

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2023

Lighting Residual Gas Analysis methods of PSG Layer Growth for In-situ Monitoring of Pilot-Scale CVD
Munse Kim ,  Hee-eun Song ,  Sung Eun Pa 외 8명 한국태양에너지학회 학술대회논문집 2023.11 학술대회자료
In-situ Monitoring of Industrial-Scale Chemical Vapor Deposition for PSG Layer Growth Using Residual Gas Analysis Method
Munse Kim ,  Hee-Eun Song ,  Sung Eun Pa 외 8명 한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집 2023.06 학술대회자료
Lighting Residual Gas Analysis methods of PSG Layer Growth for In-situ Monitoring of Pilot-Scale CVD
Munse Kim ,  Hee-eun Song ,  Sung Eun Pa 외 8명 한국태양에너지학회 학술대회논문집 2023.04 학술대회자료

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#Chemical vapor deposition (CVD) #Residual gas analyzer (RGA) #Phosphosilicate glass (PSG) #Pilot-scail #Predictive Maintenance (PdM)

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