지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
이용수
등록된 정보가 없습니다.
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
3 차 조화파 기반의 깊이 방향 고분해능을 갖는 실리콘 웨이퍼의 비파괴 측정 시스템 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
펨토초 펄스 레이저를 이용한 반도체/디스플레이 공정에서의 정밀 형상 측정 기술
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .11
펨토초 펄스 레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2022 .12
펨토초 레이저를 이용한 실리콘 웨이퍼 드릴링의 공정 최적화 연구
대한용접·접합학회지
2019 .06
레이저 기반 SiC 웨이퍼 박형화 공정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
SiC 웨이퍼 박형화를 위한 펄스 레이저 기반 내부 가공 공정 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .12
펨토초 레이저 광 빗 기반 초정밀 측정 및 분석기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
자중 변형을 보상한 300 mm 실리콘 웨이퍼의 형상 및 두께 분포 동시측정기술
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Precision Optical Measurement using Femtosecond Lasers
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
Development of a High-Speed Depth Measuring Machine for through Silicon Vias on a 300 mm Silicon Wafer
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .05
Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2024 .10
펨토초 레이저 빔입사각 제어에 의한 실리콘 웨이퍼 가공 특성 분석
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
퓨리에 변환 분광기를 이용한 실리콘 웨이퍼 두께 측정
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2024 .12
Design of Gaussian Phase-shifting Algorithm for Surface Profile Measurement of a Silicon Wafer
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .05
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
SiC 웨이퍼 표면 10 ㎛ 두께 폴리싱을 위한 펨토초 레이저 가공
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2024 .11
고조파 위상 반복 분석법과 파장 주사 간섭법을 이용한 실리콘 웨이퍼의 표면형상 측정
대한기계학회 논문집 A권
2022 .06
SVM 기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로크랙 분류에 관한 연구
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2015 .10
주사 범위 확장 펨토초 레이저를 이용한 고단차 형상 측정
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
Uncertainty Evaluation of Optical Wafer Thickness Measurements
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2017 .05
0