테라헤르츠 영역에서의 실리콘 웨이퍼 두께 측정 알고리즘의 단순화

이진우 ,  김경수 ,  김수현

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .05

Uncertainty Evaluation of Optical Wafer Thickness Measurements

C.-S. Kang ,  A. P. D ,  ija 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

회전 거울쌍을 이용한 고분해능 적외선 퓨리에 분광기법

이주형 ,  송대원 ,  손광우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

3 차 조화파 기반의 깊이 방향 고분해능을 갖는 실리콘 웨이퍼의 비파괴 측정 시스템 개발

이인재 ,  김대희 ,  함지원 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

Development of a High-Speed Depth Measuring Machine for through Silicon Vias on a 300 mm Silicon Wafer

홍순천 ,  윤석민 ,  우봉주 외 2명

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .05

펨토초 레이저의 표면상 삼차조화파를 활용한 실리콘 웨이퍼의 측정 기술

이인재 ,  김대희 ,  김영진

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

SOI 웨이퍼의 전체 물리적 두께 측정

배재석 ,  박정재 ,  진종한

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2021 .05

자중 변형을 보상한 300 mm 실리콘 웨이퍼의 형상 및 두께 분포 동시측정기술

박주현 ,  강주식 ,  이재용

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

Design of Gaussian Phase-shifting Algorithm for Surface Profile Measurement of a Silicon Wafer

J. C. Bae ,  J. Y. Yun ,  H. Kim 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

산소농도 16ppma 이하 단결정 실리콘 웨이퍼의 태양전지 효율에 관한 연구

육영진 ,  이윤호 ,  남우석 외 5명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2016 .05

웨이퍼 박막두께 간이 측정기

강지현 ,  심준영 ,  이수빈 외 3명

대한전기학회 학술대회 논문집

2024 .10

SVM 기반 실리콘 웨이퍼의 마이크로크랙 분류에 관한 연구

김상연 ,  김경범

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2015 .10

Optimal Selection of n-Type Wafer Resistivity and Lifetime for Industrial High-Efficiency Silicon Solar Cells

Cheolwook Kwon ,  Soohyun Bae ,  Sanghee Lee 외 8명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10

박형 결정질 실리콘 웨이퍼 제조기술

김준수 ,  최선호 ,  장보윤 외 1명

한국에너지학회 학술발표회

2015 .04

폐태양전지로부터 고순도 은(Ag)과 구리(Cu) 회수 및 실리콘 웨이퍼(Silicon wafer) 회수

최주환 ,  유광용

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2019 .04

테라헤르츠 시간 영역 분광법을 이용한 실리콘웨이퍼 증착물의 두께 예측에 관한 연구

박동운 ,  김헌수 ,  김학성

대한기계학회 춘추학술대회

2021 .06

3D Surface and Thickness Profile Measurements of Si Wafers by Using 6 DOF Stitching NIR Low Coherence Scanning Interferometry

박효미 ,  최문성 ,  주기남

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2017 .02

펨토초 펄스 레이저를 이용한 반도체/디스플레이 공정에서의 정밀 형상 측정 기술

진종한 ,  박정재 ,  안흘비 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .11

두께와 결정학적 방향이 얇은 실리콘 웨이퍼의 굽힘 물성에 끼치는 영향

구창연 ,  김택수

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .03

박막화 과정을 거친 단결정 실리콘 웨이퍼의 기계적 물성에 크기 및 방향이 미치는 영향

이상민 ,  김재한 ,  김영석 외 1명

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .04