CMP의 화학 기계적 균형

정해도

기계저널

2016 .07

CMP 장비의 초 고압(800g/cm²) 조건에서 구조 특성에 관한 연구

김요한 ,  이창우

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

사파이어 CMP에서의 연마모델에 관한 연구

이현섭 ,  이다솔

대한기계학회 춘추학술대회

2017 .11

반도체 화학기계적 평탄화(CMP)

이현섭

기계저널

2018 .09

고분자 결함 구조에 따른 CMP pad의 표면 형상 및 CMP 성능 변화 연구

서장원 ,  윤성훈 ,  정은선 외 2명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2019 .04

CMP 연마패드 형상 제어 및 실험적 검증

손준규 ,  서준영 ,  김태경 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2019 .11

Advances in CMP Technology over the Next Decade

Hong Jin Kim

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

CMP 컨디셔닝 시스템에서 연마패드 마모에 관한 연구

손준규 ,  박성현 ,  이현섭

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2020 .06

구리/폴리머의 CMP에서 슬러리 첨가제가 선택비에 미치는 영향

장수천 ,  유민종 ,  정해도

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

연마온도 제어에 따른 패드 물성 변화가 Cu CMP 성능에 미치는 영향

이다솔 ,  정해도 ,  이현섭 외 1명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2018 .10

화학기계적 연마(CMP) 공정에서의 트라이볼로지 연구 동향

이현섭

Tribology and Lubricants

2018 .06

CMP 에서 패드의 미세돌기 분포가 연마율에 미치는 영향

김현진 ,  이기훈 ,  박병준 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

A Study on the Polishing Characteristics Using Floating Nozzle in Linear Roll CMP

이치호 ,  정해도

Journal of the Korean Society for Precision Engineering

2015 .07

Effects of Temperature on Removal Rate in Cu CMP

In-Ho Pa ,  k ,  Da-Sol Lee 외 2명

한국기계가공학회지

2018 .12

앙상블 모델을 통한 화학적 기계연마 기술 연마율 예측

전병주 ,  하종문 ,  이준민 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .12

Cu CMP에서 슬러리 온도가 연마율에 미치는 영향

박인호 ,  이다솔 ,  이종우 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

CMP 에서 연마패드 마모에 따른 연마율의 변화

김태경 ,  황현덕 ,  이현섭

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .10

신경망을 이용한 SiO₂ CMP의 재료제거율 예측

하인철 ,  김승우 ,  이승민 외 3명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2024 .10

CMP 패드의 홈의 크기가 점탄성에 미치는 영향

정경우 ,  정선호 ,  이동환 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

웨이퍼의 대구경화가 Cu CMP 의 연마율에 미치는 영향

유민종 ,  정해도 ,  박인호

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05