지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한양대학교 세라믹공정연구센터 Journal of Ceramic Processing Research Journal of Ceramic Processing Research 제19권 제4호
- 발행연도
- 2018.8
- 수록면
- 342 - 346 (5page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
Aluminum nitride (AlN) thin film has been synthesized by the direct nitridization of aluminum with heated NH3 gas. Theinfrared heating with focusing capability was adopted as a heat source and the reaction zone was constantly translated bycontrolling the sample stage. The metallic Al layer was deposited on the amorphous fused silica glass substrate using a thermalevaporation system at 3.0 × 10?6 Torr and the temperature profile of the reaction zone could be arbitrary chosen by varyingthe focal length of the IR reflector in the range of 600 ~ 800 oC. The polycrystalline AlN thin film was obtained with <100 nmthickness in a single step and the thickness of the AlN layer could be increased by the iterated steps. The morphology and thecrystalline quality of the AlN thin film have been characterized by the XRD, SEM, and EDS analyses.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (18)
참고문헌 신청
함께 읽어보면 좋을 논문
논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!
-
Atomic Layer Deposition of AlN Thin Films on GaN and Electrical Properties in AlN/GaN Heterojunction Diodes
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2020 .01
-
펄스레이저법으로 증착 제조된 AlN박막의 타겟 효과
소성·가공
2020 .02
-
Dependence of Sputtering Gas Pressure on the Crystal Structure of AlN Films
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2021 .11
-
나노구조를 응용한 AlN 성장 방법 및 특성
전기전자재료학회논문지
2015 .01
-
원자층 증착법을 이용한 AlN 박막의 성장 및 응용 동향
한국재료학회지
2019 .01
-
SiC 기판상에 성장된 AlN 박막을 이용한 AlN 결정 성장에 관한 연구
한국결정성장학회지
2018 .01
-
고효율 파워 반도체 소자를 위한 Mg-doped AlN 에피층의 HVPE 성장
한국결정성장학회지
2017 .01
-
가스용탕반응법에 의한 Al-ALN 복합재 제조시 교반기 내의 유동장 해석
한국생산제조학회지
2020 .02
-
6H-SiC 종자 결정을 사용하여 PVT법으로 성장된 AlN 결정 연구
한국결정성장학회지
2016 .01
-
Y2O3가 1 wt% 첨가된 AlN 세라믹의 전기절연성에 미치는 TiO2 첨가의 효과
전기전자재료학회논문지
2016 .01
-
유한요소해석을 이용한 방열용 Al-AlN 복합재의 제2상 분율에 따른 열-기계적 특성예측
한국기계가공학회지
2018 .10
-
AlN 분말의 고에너지 밀링에 따른 소결체의 절연 특성
한국분말야금학회지
2017 .01
-
Effects of different aluminum sources and calcination temperatures on the synthesis of ultrafine AlN powder via carbothermal reduction nitridation
Journal of Ceramic Processing Research
2017 .03
-
Improved Performances of AlN/Polyimide Hybrid Film and its Application in Redistribution Layer
Electronic Materials Letters
2016 .01
-
상압소결 질화알루미늄의 소결 첨가제 변화에 따른 열적 및 기계적 특성
한국분말야금학회지
2019 .01
-
Effect of Atomic Layer Deposited AlN Layer on Pt/4H-SiC Schottky Diodes
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2018 .08
-
가스반응법으로 제작된 Al-ALN 복합재의 제 2상 분율과 기공에 따른 열팽창계수 예측
한국기계가공학회지
2019 .04
-
알루미늄 기판에 스크린 인쇄한 AlN 후막의 두께 방향으로 열전도도 평가
마이크로전자 및 패키징학회지
2015 .01
-
Effect of AlN content on the properties and microstructure of pressureless-sintered Al2O3-AlN composites
Journal of Ceramic Processing Research
2018 .06
-
투과전자현미경과 전자후방산란회절을 이용한 AlN의 미세구조 분석
한국결정성장학회지
2015 .01
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0