Hollow-Cathode-Plasma을 이용한 원자층 증착 장치 설계 및 제작

조성은 ,  한건구 ,  이주환 외 6명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

High-quality SiN_x thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma

Jae Chan Pa ,  k ,  Dae Hyun Kim 외 6명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

플라즈마 원자층 증착법을 통한 TiN 코팅 인서트 팁의 내구성 향상 기술 개발

신정우 ,  이재형 ,  박동혁 외 3명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈

손종원

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

A trade-off-free fluorosulfate-based electrolyte additive developed for lithium-ion batteries using Ultra Ni-rich (90%) cathode materials

Jimin Oh

대한전자공학회 학술대회

2022 .11

다양한 전구체의 펄스 시간에 따른 원자층 박막 증착을 통한 박막 특성 비교

정헌준 ,  최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

Surface Chemistry Modification for Developing Atomic Layer Deposition Process for the 2D Material and Thin Film Deposition on 2D Materials

전우진

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

Hollow cathode 플라즈마 원자층 증착법으로 증착한 ZrO₂ 박막 특성 개선

최창익 ,  박재찬 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2021 .12

우주 플라즈마 추력기를 위한 저전류 할로우 열음극 개발

이재준 ,  도근태 ,  김영호 외 2명

한국추진공학회 학술대회논문집

2023 .11

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

고분자전해질 연료전지의 공기극에서 성능향상을 위한 플라즈마 원자층 박막 증착법을 이용한 Pt/Cu 복합촉매 제작

최재호 ,  심준형

한국자동차공학회 춘계학술대회

2022 .06

Advanced atomic layer deposition of ultrathin metal films

한지원 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2019 .11

플라즈마 원자층 증착을 이용한 TiO₂ thin film 굴절율 최적화

성준화 ,  양영환 ,  노준석

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

Titanium Nitride Thin Films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition as Bipolar Plate for Proton Exchange Membrane Fuel Cell

Woojae Lee ,  Eun-young Yun ,  So-won Pa 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

A Study on Mechanical and Electrical Properties of PEALD TiN Thin Films through Plasma Parameter Control

Chansong Kwon ,  Young Bin Pa ,  k 외 4명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2021 .10

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11