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Hollow cathode plasma 기반 원자층 증착법 공정온도에 따른 TiN 박막 특성 비교
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
High-quality SiNx thin film growth at 300 ℃ using atomic layer deposition with hollow cathode plasma
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2020 .07
A trade-off-free fluorosulfate-based electrolyte additive developed for lithium-ion batteries using Ultra Ni-rich (90%) cathode materials
대한전자공학회 학술대회
2022 .11
우주 플라즈마 추력기를 위한 저전류 할로우 열음극 개발
한국추진공학회 학술대회논문집
2023 .11
원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .05
소형 원자층 증착 장치
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .05
R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2018 .12
유량 변화에 따른 원자층 증착 장비 내부 유동특성 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2019 .11
플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN<sub>x</sub> 박막의 전기 전도도 조절
한국재료학회지
2018 .01
Atomic Layer Deposition for Electrochemical Applications
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
공극률을 고려한 리튬 이차전지 양극재 LixV₂O5의 구조 설계 및 성능평가 모델 개발
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .04
SiO₂ bottom-up trench fill of a high aspect ratio hole by plasma enhanced atomic layer deposition using a very high frequency plasmas and inhibitor surface treatment
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .06
플라즈마 원자층 증착을 이용한 TiO₂ thin film 굴절율 최적화
한국생산제조학회 학술발표대회 논문집
2021 .07
Investigation of an Axial Virtual Cathode Oscillator with an Open-Ended Coaxial Cathode
Journal of Electromagnetic Engineering And Science
2022 .05
The Properties of ZrO2 Film Deposition by ALD at Low Temperature
Journal of the Korean Society for Precision Engineering
2017 .10
Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2017 .05
고분자전해질 연료전지의 공기극에서 성능향상을 위한 플라즈마 원자층 박막 증착법을 이용한 Pt/Cu 복합촉매 제작
한국자동차공학회 춘계학술대회
2022 .06
저온 고체산화물 연료전지 성능 향상을 위한 원자층 증착법 활용 사마륨-도핑 세리아 환원극 기능층 증착
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2023 .11
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