Cutting surface wear-resistant treatment method for improved machine tool reliability

Sungje Lee ,  Jeong Woo Shin ,  Byung Chan Yang 외 2명

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2020 .10

플라즈마 원자층 증착 기술의 최근 동향 및 이슈

손종원

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

Hollow cathode plasma 기반 원자층 증착법 공정온도에 따른 TiN 박막 특성 비교

이하영 ,  고재희 ,  조민규 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

유한요소해석을 통한 Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition 장비 유동 가시화 연구

전준혁 ,  윤성호 ,  이세준 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2020 .07

Titanium Nitride Thin Films by Plasma Enhanced Atomic Layer Deposition as Bipolar Plate for Proton Exchange Membrane Fuel Cell

Woojae Lee ,  Eun-young Yun ,  So-won Pa 외 2명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2017 .11

Phase Control of Two-Dimensional Tin Sulfide Compounds Deposited by Atomic Layer Deposition

Dong Geun Kim ,  Jeong-Hun Choi ,  Ji-Hoon Ahn

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

입자 코팅이 가능한 소형 및 저가형 원자층 증착 장비

이재혁 ,  최형종 ,  한권덕 외 3명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2018 .10

원자층 박막 증착법을 이용한 리튬 박막 제작

최윤성 ,  심준형

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .05

플라즈마 강화 원자층 증착법에 의한 TaN_x 박막의 전기 전도도 조절

류성연 ,  최병준

한국재료학회지

2018 .01

A Study on Mechanical and Electrical Properties of PEALD TiN Thin Films through Plasma Parameter Control

Chansong Kwon ,  Young Bin Pa ,  k 외 4명

한국트라이볼로지학회 학술대회

2021 .10

플라즈마 원자층 증착을 이용한 TiO₂ thin film 굴절율 최적화

성준화 ,  양영환 ,  노준석

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2021 .07

기능성 박막 코팅용 소형 원자층 증착 장비

정헌준 ,  박종선 ,  임진혁 외 2명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

원자적층법(Atomic Layer Deposition) 증착 조건에 따른 ZnO 박막의 특성 변화 확인

홍민표 ,  김경민 ,  송용남

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .10

Multi-functional layer coating on nanoparticles via atomic-layer-deposition

홍성환 ,  장은용 ,  박태주

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2018 .11

소형 원자층 증착 장치

한권덕 ,  박석원 ,  최형종 외 1명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2016 .05

R&D용 소형 원자층 증착 시스템 개발

김민식 ,  한권덕 ,  최형종 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2018 .12

Photovoltaic applications of tin sulfide thin films grown by atomic layer deposition

Sang-Ju Lee ,  Shi-Joon Sung ,  Kee-Jeong Yang 외 1명

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .09

플로팅 다중 전극을 이용한 초고주파 (162 ㎒) 플라즈마 원자층 증착에 관한 연구

You Jin Ji ,  Haein Kim ,  Ki Hyun Kim 외 7명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06

Formation of Anti-reflection structure grown by atomic layer deposition

Yong Tae Kim ,  Jaeyeong Heo

한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집

2017 .05

SiO₂ bottom-up trench fill of a high aspect ratio hole by plasma enhanced atomic layer deposition using a very high frequency plasmas and inhibitor surface treatment

안규환 ,  김호곤 ,  이용기 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .06