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RF 플라즈마 처리 및 고출력 펄스형 마그네트론 스퍼터링을 이용한 Cr-free 고 접합 시드층 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 FeS₂ 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 RF 파워의 영향
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2018 .11
RF 마그네트론 스퍼터링법으로 증착한 전기변색 박막의 물성평가
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
RF 마그네트론 스퍼터링 증착 압력변화에 따른 SnS 박막의 구조적, 광학적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2019 .05
RF 마그네트론 스퍼터링으로 제조한 SnS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 열처리 효과
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
RF 마그네트론 스퍼터링 방법으로 증착된 CuS 박막의 구조적 및 광학적 특성에 대한 스퍼터링 전력의 영향
Current Photovoltaic Research
2020 .03
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 박막 증착에 관한 연구
한국정보전자통신기술학회 논문지
2018 .12
RF 마그네트론 스퍼터링 시스템을 이용한 3차원 바나듐 옥사이드 나노구조물의 성장
한국산학기술학회 논문지
2022 .09
마그네트론 스퍼터링법을 이용한 Zn 나노 구조 제어
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .06
탄소섬유 물리적 특성 향상을 위한 스퍼터링 탄소박막의특성에 대한 연구
전기전자재료학회논문지
2015 .01
RF magnetron sputtering으로 증착한 IGZO 박막의 RF power에 따른 구조적, 광학적 및 전기적 특성 연구
반도체디스플레이기술학회지
2016 .01
RF 마그네트론 스퍼터링 법으로 제작한 ITZO 박막의 구조 및 광학적 특성
한국표면공학회지
2015 .12
RF 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 리튬 이온 이차전지 양극용 바나듐 옥사이드 박막에 관한 연구
한국산학기술학회 논문지
2019 .06
반응성 RF 마그네트론 스퍼터링에 의한 TiNx 상온 성막에 있어서 기판 상의 펄스상 직류 바이어스 인가 효과
한국표면공학회지
2019 .12
DC/RF 마그네트론 스퍼터링법을 이용한 TiO2/Ag/TiO2 하이브리드 다층박막의 적외선 반사 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
RF 마그네트론 스퍼터링을 이용한 ITO 기판에 불순물 증착에 관한 연구
전기학회논문지 P
2015 .12
반도체용 마그네트론 스퍼터링 음극 전산 모사 소프트웨어 개발
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2016 .11
향상된 산소 환원 반응을 위한 RF/DC 스퍼터링 방법을 이용한 저온형 고체산화물 연료전지 제조
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2015 .12
RF 프론트엔드 모듈 구현을 위한 고 전력 RF 스위치 기술 개발
대한전자공학회 학술대회
2016 .06
RF sputter를 이용한 실리카 증착 고 내구성 반사 방지막 제조
한국표면공학회지
2019 .04
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