직류 마그네트론 스퍼터링으로 증착된 은 박막에서의 산소 검출에 관한 연구

곽동열; 조승범; 강동찬; 김용성; 박태성; 박익근

doi:10.7779/JKSNT.2018.38.5.335

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자료유형: 학술저널

저자정보: 곽동열 (서울과학기술대학교) 조승범 (서울과학기술대학교) 강동찬 (서울과학기술대학교) 김용성 (서울과학기술대학교) 박태성 (서울과학기술대학교) 박익근 (서울과학기술대학교)

저널정보: 한국비파괴검사학회 비파괴검사학회지 비파괴검사학회지 제38권 제5호

발행연도: 2018.10

수록면: 335 - 342 (8page)

DOI: 10.7779/JKSNT.2018.38.5.335

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박막 증착 공정에서는 기판 온도, 압력, 전압뿐만 아니라 스퍼터링 공정에서 발생된 산소의 검출량과 같은 미소량의 변수가 박막의 특성에 영향을 미칠 수 있다. 본 연구에서는 고진공의 직류 마그네트론 스퍼터링 공정으로 제작된 박막에서 산소의 존재 여부를 확인하기 위해 유리 기판 위에 110 nm의 두께로 은박막을 증착하였다. 스퍼터링 공정에서 DC 출력 제어 및 아르곤 분압 조절 조건과 DC 출력 조절 및 아르곤분압 제어 조건을 다르게 하여 박막을 제작하였고 X선 회절분석법과 레이저 유도 플라즈마 분광분석법을 적용하여 산소의 검출 여부를 확인하였다. 스퍼터링 공정에서 발생된 산소 음이온의 영향으로 은 박막의 표면과 깊이 방향으로 산소가 분포되었고 스퍼터링 조건에 따라 산소의 양이 다르게 검출됨을 확인하였다.

#직류 마그네트론 스퍼터링 #산소 검출 #금속 박막 #레이저 유도 플라즈마 분광분석법 #DC Magnetron Sputtering #Oxygen Detection #Silver Thin Films #Laser Induced Breakdown Spectroscopy

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D. W. Hahn / 2012 / Laser-induced breakdown spectroscopy (LIBS), part II: review of instrumental and methodological approaches to material analysis and applications to different fields / Applied spectroscopy 66(4):347~419

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최장희 / 2016 / Wavelength dependence of the ablation characteristics of Cu(In,Ga)Se2 solar cell films and its effects on laser induced breakdown spectroscopy analysis / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing-Green Technology 3(2):167~171

J. M. Vadillo / 1998 / Nanometric Range Depth-Resolved Analysis of Coated-Steels Using Laser-Induced Breakdown Spectrometry with a 308 nm Collimated Beam / Journal of Analytical Atomic Spectrometry 13:793~797

이재훈 / 2013 / Energy Saving in Line Patterning using Pulse Laser by Reducing Overlapping Rate with Rectangular Beam Shape / International Journal of Precision Engineering and Manufacturing 14(6):985~988

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