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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2022.12
- 수록면
- 1,057 - 1,062 (6page)
- DOI
- 10.3795/KSME-A.2022.46.12.1057
이용수
초록· 키워드
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본 논문에서는 반도체 CMP 공정에서 여러 유체를 공급할 때 서로 섞이지 않도록 유체 공급을 유지하는 밀폐장치인 로터리 유니온의 수명 및 내환경성 시험을 하였다. 로터리 유니온은 CMP 공정에서 압력을 가하여 웨이퍼를 눌러 연마 작업을 하고, 진공을 걸어 웨이퍼를 들어 올리며 이송하는 역할을 한다. 본 논문에서 사용된 로터리 유니온은 무윤활 밀폐방식으로 윤활유 공급장치가 필요 없어 윤활유오염에 예민한 반도체 및 디스플레이 장비에 강점을 가지고 있다. 반복 작업을 하는 해당 제품에 대해 수명 보증 및 신뢰성평가가 필요하다고 판단하였으며, 수명시험 전, CAE 프로그램을 이용한 유한요소 해석을 진행하였다. 압력을 변수로 하여 정격 압력이 포함되는 범위를 설정하여 축과 씰 유닛의 조합응력값을 확인하였다. 수명시험을 위한 지그를 제작하여 보증시간에 상응하는 가속수명시험 시간을 계산하여 시험하였고, 내환경성 시험을 추가로 수행하여 해당 제품의 신뢰성을 확보하였다.
목차
초록
Abstract
1. 서론
2. 신뢰성 검증 방법
3. 신뢰성 검증 결과
4. 결론
참고문헌(References)
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
Lee, G. S., Choi, J. S., Lee, G. C., Park, J. W., Jeon, J. W., Lee, J. H. and Rhee, H. J., 2019, “Study on the Durability Test for a Vacuum Linear Seal Unit,” Proc. of the KSME 2019 Annual Meeting, pp. 752~754.
Yoo, J. C., Rhee, H. J. and Park, T. J., 2016, “Analysis of Behavior Characteristics of Lip Seal with Interference for Rotary Union,” Proc. of the KSME 2016 Annual Meeting, pp. 17~22.
Global Information, 2022, Market Research Reports – Industrial Machinery – Global Rotary Unions for Semiconductor Market Insights, Forecast to 2028, Global Information, Inc., pp. 1~157.
Yoo, J. C. and Park, T. J., 2007, “Analysis of a Lip Seal Behavior for Rotary Union,” Journal of the KSTLE, Vol. 23, No. 6, pp. 272~277.
Je, T. J., Choi, D. S., Jang, W. S., Lee, E. S. and Rhee, H. J., 2007, “Development of High Precision Grinding Technology for Rotary Union Shaft,” Proc. of the KSME 2007 Annual Meeting, pp. 739~743.
Yoo, J. C., Rhee, H. J. and Park, T. J., 2016, “Analysis of Behavior Characteristics of Lip Seal with Interference for Rotary Union,” Proc. of the KSME 2016 Annual Meeting, pp. 17~22.
Global Information, 2022, Market Research Reports – Industrial Machinery – Global Rotary Unions for Semiconductor Market Insights, Forecast to 2028, Global Information, Inc., pp. 1~157.
Yoo, J. C. and Park, T. J., 2007, “Analysis of a Lip Seal Behavior for Rotary Union,” Journal of the KSTLE, Vol. 23, No. 6, pp. 272~277.
Je, T. J., Choi, D. S., Jang, W. S., Lee, E. S. and Rhee, H. J., 2007, “Development of High Precision Grinding Technology for Rotary Union Shaft,” Proc. of the KSME 2007 Annual Meeting, pp. 739~743.
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