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저자정보
유근택 (부산대학교) 박근형 (부산대학교) 이은빈 (부산대학교) 박민혁 (서울대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제71권 제11호
발행연도
2021.11
수록면
890 - 900 (11page)

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HfO₂, ZrO₂ 등의 플루오라이트 구조 산화물에서 발현되는 강유전성은 2011년 첫 논문이 발표된 이후 산업계 및 학계에서 큰 관심을 얻고 있다. 10여 년의 짧은 역사에도 특유의 우수한 물리적 scalability를 기반으로 20 nm 대의 선폭을 가지는 전자 소자에 활용될 정도로 급속한 기술 개발이 이루어지고 있다. 강유전성이 발현되는 결정학적인 원인은 Pca2₁ 의 space group을 가지는 orthorhombic phase의 생성인 것으로 받아들여지고 있으나 상평형도에 존재하지 않는 준안정상의 형성 메커니즘에 대해서는 아직까지 논의가 계속되고 있는 상황이다. 강유전성 orthorhombic phase는 다양한 열역학적 요소에 의해 가장 낮은 자유에너지를 가질 수 있을 것이라는 열역학적인 모델과 여전히 준안정상인 상태이지만 높은 에너지 장벽에 의해 열역학적 안정상으로의 전이가 억제된다는 동역학적인 모델이 크게 제시되었다. 본 리뷰에서는 현재까지 진행된 다양한 연구 내용을 바탕으로 현재까지 제안된 열역학적, 동역학적 메커니즘을 종합적으로 리뷰하고자 한다.
#Ferroelectric #Hafnia #Zirconia #Phase transition #Antiferroelectric #강유전성 #산화하프늄 #산화지르코늄 #상전이 #반강유전성

목차

I. 서론
II. 열역학적 관점
III. 동역학적 관점
IV. 도핑된 강유전성 HfO₂ 박막의 제작에 대한 핵생성 이론의 적용
V. 결론
REFERENCES

참고문헌 (45)

참고문헌 신청
R. Batra / 2017 / J. Phys. Chem. C 121:4139 google schola M. H. Park / 2019 / Nanoscale 11:19477 google schola M. H. Park / 2019 / Adv. Electron. Mater 5:1800522 google schola M. H. Park / 2018 / Nanoscale 10:716 google schola T. S. Böscke / 2011 / Appl. Phys. Lett. 99 google schola

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