Enhanced Ferroelectricity and Alleviated Depolarization in Ultra-thin Hf<SUB>0.5</SUB>Zr<SUB>0.5</SUB>O₂-based MFIS capacitor by Interface Engineering

Se Hyun Kim; Hyun Woo Jeong; Kun Yang; Geun Hyeong Park; Dong Hyun Lee; Younghwan Lee; Min Hyuk Park

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저자정보: Se Hyun Kim (Seoul National University) Hyun Woo Jeong (Seoul National University) Kun Yang (Seoul National University) Geun Hyeong Park (Seoul National University) Dong Hyun Lee (Seoul National University) Younghwan Lee (Seoul National University) Min Hyuk Park (Seoul National University)

저널정보: 한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2022년도 한국표면공학회 추계학술대회

발행연도: 2022.11

수록면: 105 - 105 (1page)

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