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자료유형
학술저널
저자정보
김성문 (부산대학교) 진영록 (부산대학교) 이재광 (부산대학교)
저널정보
한국물리학회 새물리 새물리 제73권 제6호
발행연도
2023.6
수록면
487 - 493 (7page)

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최근 반도체 소자 연구에서는, 높은 유전상수를 보유하며 강유전성을 지닌 하프늄 산화물(HfO₂)이 주목받고 있다. HfO₂의 다형체는 등축정계, 정방정계, 사방정계, 단사정계 등 다양한 구조를 갖지만, 특히 사방정계 구조에서만 강유전성을 나타낸다. 이처럼 HfO₂의 강유전성을 최대한 활용하려면, 다양한 다형체 중에서 강유전성을 지니는 사방정계를 정확히 구분하는 것이 중요하다. 본 연구에서는 비 분석항 보정(Non-analytical term correction, NAC)을 고려하여 HfO₂ 다형체의 적외선(Infrared, IR), 라만 분광법(Raman Spectroscopy)을 계산하였다. 본 연구는 각 분광법에서 나타나는 강도와 주파수의 독특한 특성을 통해 사방정계를 효과적으로 구별해낼 수 있음을 보여준다.
#Hafnium dioxide #Phonon dispersion #Infrared spectroscopy #Raman spectroscopy #하프늄 산화물 #포논 분산 #적외선 분광법 #라만 분광법

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 계산 및 방법
Ⅲ. 계산 결과
Ⅳ. 결론
REFERENCES

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