A Study on the Dual Servo System for Nano Machining Processing

이경일

doi:10.7736/JKSPE.022.066

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자료유형: 학술저널

저자정보: 이경일 (송원대학교)

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.39 No.8

발행연도: 2022.8

수록면: 557 - 563 (7page)

DOI: 10.7736/JKSPE.022.066

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In the framework of the 4th industrial revolution, modern machine building rapidly converges with IOT technology. This requires a very high level of precision machining of parts and assemblies, such as electronics, vehicle and components, agricultural and construction machines, optical instruments, and machine tools. However, high precision machinery is considerably expensive, and so a general need for low-cost equipment exists. While many researchers study this, they focus mainly on cutting tools. This study, for its part, focused on compensating errors and enhancing machinery precision, by adding a servo controller to the processing unit. As a result, we designed a fine dual servo system, ensuring 10 nm positioning accuracy and 40 nm of surface roughness.

#Ultra-Precision positioning (초정밀위치제어) #Dual servo (듀얼서보) #Nano machining processing (나노가공) #Flexure hinge (유연힌지)

참고문헌 (24)

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Kim, J., Lee, H.-N., Kwac, L., Han, J., Cho, Y.-T., Jun, C.-G., (2000), Control performance evaluation of ultra precision positioning apparatus, Proceedings of the International Society of Internal Medicine Conference, 252-255.

Park, D.-K., Lee, G.-I., Gao, J.-C., Kim, J.-Y., (2016), Research on the design of the ultra-high-precision positioning control error compensation, International Journal of Precision Engineering and Manufacturing, 17(10), 1351-1358.

Kim, J., Han, J., Kim, H., You, S., Kwac, L., Song, I., (1997), A study on the optimal structural design and ultra precision position control using FEM for micro stage, Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference, 336-340.

Sze-Wei, G., Han-Seok, L., Rahman, M., Watt, F., (2007), A fine tool servo system for global position error compensation for a miniature ultra-precision lathe, International Journal of Machine Tools and Manufacture, 47(7-8), 1302-1310.

Yong, Y. K., Lu, T.-F., Handley, D. C., (2008), Review of circular flexure hinge design equations and derivation of empirical formulations, Precision Engineering, 32(2), 63-70.

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이경일

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논문수 88 이용수 5,354

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