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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
문준희 (유한대학교)
저널정보
Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering Vol.39 No.2
발행연도
2022.2
수록면
151 - 157 (7page)
DOI
10.7736/JKSPE.021.112

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Flexure hinges are widely used as joint linkages for precision stages applied to lithography processes. Among them, precision stages with 3 DOF (Degrees of Freedom) of x, y and θ<SUB>z</SUB> prevail in semiconductor manufacturing and they have been adopting single directional flexure hinges as mechanical linkages without backlash and debris. However, new technologies including nano-imprinting, which replaces lithography, needs more than 3 DOF precision positioning stages that adopt cylindrical flexure hinges. In this study, the cylindrical flexure hinges with circular notches were analyzed using the Timoshenko beam theory and FEM (Finite Element Method), with focused on their directional stiffness. Based on the analysis and result comparison between theoretical equations and FEM, several practical suggestions for determining important design variables are provided in the conclusion of this study.
#Flexure hinge (플렉셔 힌지) #Finite element analysis (유한요소해석) #Directional stiffness (방향강성)

목차

1. 서론
2. 원통형 플렉셔 힌지의 구조와 강성
3. 유한요소해석을 통한 검증
4. 실용적 설계를 위한 고찰
5. 결론
REFERENCES

참고문헌 (10)

참고문헌 신청
Paros, J. M. and Weisbord, L., “How to Design Flexure Hinges,” Machine Design, Vol. 37, No. 8, pp. 151-156, 1965. google schola Lobontiu, N., Paine, J. S., Garcia, E., and Goldfarb, M., “Corner-Filleted Flexure Hinges," Journal of Mechanical Design, Vol. 123, No. 3, pp. 346-352, 2001. google schola Smith, S. T., “Flexures: Elements of Elastic Mechanisms,” CRC Press, pp. 153-219, 2000. google schola Yong, Y. K., Lu, T.-F., and Handley, D. C., “Review of Circular Flexure Hinge Design Equations and Derivation of Empirical Formulations,” Precision Engineering, Vol. 32, No. 2, pp. 63-70, 2008. google schola Wu, Y. and Zhou, Z., “Design Calculations for Flexure Hinges,” Review of Scientific Instruments, Vol. 73, No. 8, pp. 3101-3106, 2002. google schola

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