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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.11
- 수록면
- 408 - 408 (1page)
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We fabricate a complex laser system for recrystallization of amorphous silicon. In previous studies, many lasers such as UV laser, CW laser, and femtosecond laser have been used for recrystallization of amorphous silicon. However, each laser has its own advantages and disadvantages in the silicon recrystallization process. We implemented a system that efficiently recrystallize polycrystal silicon by utilizing the advantages of 532 continuous lasers and 515 nm femtosecond laser, respectively. The femtosecond ... 전체 초록 보기
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