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논문 기본 정보

자료유형
학술대회자료
저자정보
우제민 (부산대학교) 한봉수 (경일대학교) 안창선 (부산대학교)
저널정보
대한기계학회 대한기계학회 춘추학술대회 대한기계학회 2020년도 부산지회 추계학술대회
발행연도
2020.12
수록면
40 - 42 (3page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2020

MEMS 정전형 회전 액추에이터를 위한 무향칼만필터 기반 회전각 추정
우제민 ,  한봉수 ,  안창선 대한기계학회 춘추학술대회 2020.12 학술대회자료

2019

MEMS 정전형 회전 액추에이터의 각 추정기 설계
우제민 ,  한봉수 ,  안창선 한국정밀공학회 학술발표대회 논문집 2019.10 학술대회자료

초록· 키워드

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The capacitance of the MEMS electrostatic rotary actuator and the angle of the rotor have a fringe effect and large non-linearity that cannot be ignored. Therefore, the rotation angle estimation is not as simple as that based on a simple flat capacitor model. In addition, since the electrodes must perform driving and sensing at the same time, a method of coupling is required. In this paper, a capa ... 전체 초록 보기
#MEMS(마이크로전자기계시스템) #Electrostatic Rotary Actuator(정전형 회전 액추에이터) #Unscented Kalman Filter(무향칼만필터) #Angle Estimation(각 추정)

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