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저자정보
박민혁 (부산대학교)
저널정보
한국표면공학회 한국표면공학회 학술발표회 초록집 2021년도 한국표면공학회 춘계학술대회
발행연도
2021.6
수록면
74 - 74 (1page)

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산화하프늄 기반 박막에서 나타나는 강유전성은 2011년 Boescke 등에 의해 처음 발견된 이후 활발히 연구되고 있다. [1,2] 강유전체의 메모리반도체 소자에 대한 연구는 강유전체 자체의 내재적인 우수한 물성에도, 기존 페로브스카이트 구조 강유전체의 고집적도 정보 저장을 위한 소자 집적화 과정에서 나타나는 특성 열화로 기술적인 발전이 정체되어 있었다. 산화하프늄 기반 강유전체는 이미 양산되는 반도체 소자에 사용되는 산화하프늄이나 산화지르코늄과 같은 소재에서 도핑과 추가적인 열처리 등을 통해 유도될 수 있어, 집적도 측면에서 기존 ... 전체 초록 보기

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