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안정현 (성균관대학교) 김원영 (성균관대학교) 하태은 (성균관대학교) 조은경 (성균관대학교) 한정훈 (성균관대학교) 임화림 (성균관대학교) 김용상 (성균관대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2021년도 제52회 대한전기학회 하계학술대회
발행연도
2021.7
수록면
1,445 - 1,446 (2page)

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2022

염산이 첨가된 하프늄-지르코늄 게이트 절연체의 전기적 특성
안정현 ,  하태은 ,  조은경 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2022.10 학술대회자료

2021

염산이 첨가된 하프늄-알루미늄 산화막 절연체의 전기적 특성
안정현 ,  하태은 ,  조은경 외 2명 대한전기학회 학술대회 논문집 2021.10 학술대회자료
알루미늄 산화물이 혼합된 하프늄 산화막 절연체의 전기적 특성
안정현 ,  김원영 ,  하태은 외 4명 대한전기학회 학술대회 논문집 2021.07 학술대회자료

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본 논문에서는 용액공정으로 제작된 하프늄 산화물과 알루미늄 산화물을 혼합하여 두 물질의 상호 보완적인 효과를 통해 높은 유전상수를 유지하면서 누설전류를 개선하는 방법을 제안한다. 순수한 하프늄 산화막과 알루미늄 산화물이 혼합된 하프늄-알루미늄 산화막을 제작하여 전기적 특성과 표면특성을 비교하였다. 하프늄 산화 ... 전체 초록 보기

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