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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.7
- 수록면
- 250 - 250 (1page)
이용수
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2022
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n-TOPCon 태양전지의 고효율화를 위해서 선택적 에미터에 대한 연구가 활발히 진행되고 있다. n-TOPCon 태양전지의 선택적 에미터 구조는 전면 전극의 재결합 특성과 접촉저항 특성 향상을 위한 고효율화를 위한 핵심기술이다. 본 연구에서는 선택적 에미터 형성을 위해 p-poly 박막을 이용한 연구를 진행하였다. 실험을 위해 100 Ω/sq 및 200 Ω/sq의 Boron 에미터 면저항을 가진 n형 웨이퍼를 준비하였다. 최적의 p-poly 선택적 에미터 구조 형성을 위해 200 Ω/sq의 높은 에미터 면저항을 가진 n형 웨이퍼를 사용하여 PECVD를 통해 B2H6 농도와 박막의 두께를 가변 ... 전체 초록 보기
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