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정성진 (성균관대학교) Sanchari Chowdhury (성균관대학교) 주민규 (성균관대학교) 이준신 (성균관대학교)
저널정보
대한전기학회 대한전기학회 학술대회 논문집 2021년도 제52회 대한전기학회 하계학술대회
발행연도
2021.7
수록면
1,431 - 1,432 (2page)

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n-TOPCon 태양전지의 에미터 도핑 공정 중 발생하는 BRL은 표면의 면저항을 균일하게 하지만 단파장 영역의 표면재결합을 증가시키고, 소수캐리어 수명을 감소시키는 등 전기적 특성에 부정적인 영향을 미친다. 따라서 고효율 태양전지를 위해서는 적절한 방법을 통해 BRL을 제거해야 한다. BRL을 제거하는 방법에는 Low Temperature Oxidation, In-situ Oxidation, Chemical Etching Treatm ... 전체 초록 보기

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