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황성현 (중앙대학교) 신민규 (중앙대학교) 이동호 (중앙대학교) 차현석 (중앙대학교) 정환석 (중앙대학교) 김대환 (중앙대학교) 권혁인 (중앙대학교)
저널정보
대한전자공학회 대한전자공학회 학술대회 2021년도 대한전자공학회 하계종합학술대회 논문집
발행연도
2021.6
수록면
509 - 511 (3page)

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In this study, we investigated the effects of film thickness (t<sub>ch</sub>) on the radiation damage of indium-gallium-tin oxide (IGTO) thin films and radiation tolerance of high-mobility IGTO thin-film transistors (TFTs). The radiation tolerance of the TFTs was evaluated using a 5MeV proton beam at a fixed dose of 10<sup>13</sup> cm<sup>-2</sup>. Using t<sub>ch</sub> values of 12, 27, and 42 nm, the IGTO TFT with the 12nm thick channel layer exhib ... 전체 초록 보기

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