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안영기 (한국전자기술연구원) 정재성 (한국전자기술연구원)
저널정보
한국신뢰성학회 한국신뢰성학회 학술대회논문집 한국신뢰성학회 2021 춘계학술대회 [초록집]
발행연도
2021.6
수록면
44 - 44 (1page)

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반도체 웨이퍼가 대구경으로 개발됨에 따라 열처리 공정에서의 열전달, 균일도, 신뢰성이 보장되는 히터개발이 요구되고 있다. AlN히터는 높은 열전도, 전기절연성 및 내화학성에 우수한 특성을 가지고 있기 때문에 반도체 장비의 히터 모듈로써, 주목되고 있지만, 제조과정에서의 고온소결조건 및 신뢰성 측면에서의 열안정^_@span style=color:#999999 ^_# ... ^_@/span^_#^_@a href=javascript:; onclick=onClickReadNode('NODE10580319');fn_statistics('Z354','null','null'); style='color:#999999;font-size:14px;text-decoration:underline;' ^_#전체 초록 보기^_@/a^_#

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