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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술대회자료
- 저자정보
- 발행연도
- 2021.2
- 수록면
- 187 - 187 (1page)
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AlxGal-xN/GaN heterostructures with two kinds of Al composition were grown by metal organic chemical vapor deposition (MOCVD) on sapphire substrates. The compositions of Al in the AlGaN layer were confirmed to be 13% and 28% using ... 전체 초록 보기
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