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오지영 (Daejeon University) 정준호 (Daejeon University) 이윤석 (Daejeon University) 김석준 (Daejeon University) 김경남 (Daejeon University)
저널정보
한국진공학회 한국진공학회 학술발표회초록집 2021년 한국진공학회 제60회 동계정기학술대회 초록집
발행연도
2021.2
수록면
90 - 90 (1page)

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반도체 재료 공정 식각 공정과 챔버 세정에 주로 사용되는 PFC(Perfluorocarbon) 가스는 매우 안정한 물질로써 지구에 잔류하는 시간이 상당히 길며, 지구의 복사열의 방출을 막아 지구온난화 현상을 일으키기 때문에 높은 GWP(Global Warming Potential)를 가지고 있다. 이러한 지구온난화 문제를 해결하기 위해 기존의 PFC 가 ... 전체 초록 보기
#C6F6 #Plasma etching #GWP (Global Warming Potential) #Polymer thickness #L-FC (Liquid Fluorocarbon)

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