C6F6를 이용한 Plasma 공정 중 회수 전후의 가스 및 Plasma 특성 연구

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저자정보: 오지영 (대전대학교) 이지환 (대전대학교) 정준호 (대전대학교) 이윤석 (대전대학교) 김석준 (대전대학교) 최수빈 (대전대학교) 김민희 (대전대학교) 김경남 (대전대학교)

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#L-FC(Liquid-Fluorocarbon) #etching #plasma

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