PECVD를 이용한 MoS₂ 반도체 박막의 저온 합성 및 특성 파악

안치성 ,  이진환 ,  김형우 외 3명

대한기계학회 춘추학술대회

2015 .04

PECVD용 소스를 중심으로 플라즈마 처리장치에 대한 연구

안경회 ,  박찬혁

정보 및 제어 논문집

2021 .04

PECVD Process Chamber 최적 구조에 관한 연구

박상현 ,  이종찬

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2019 .10

Synthesis of wafer scale Molybdenum Oxide using PECVD for flexible gas sensor application

손주현 ,  안치성 ,  김형우 외 4명

대한기계학회 춘추학술대회

2016 .04

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

Screw Type Jig 적용에 따른 반도체용 PECVD Chamber 가공형상정밀도 향상에 관한 연구

강동원 ,  최윤서 ,  박상현 외 3명

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2017 .10

Tribological Behavior of MoS₂2D Thin Film Synthesized by PECVD Method

Kub ,  a Aydin ,  Hae Won Yoon 외 2명

대한기계학회 춘추학술대회

2022 .11

PECVD법을 이용하여 제작된 DLC 코팅막의 밀착력과 마찰 마모 특성

이경황 ,  진서윤 ,  김서희 외 3명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2022 .11

300 ㎜ 웨이퍼 유도결합 플라즈마 건식식각장치에서 가스 노즐 구성에 따른 유동해석

이재빈 ,  주정훈

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2020 .12

PECVD를 이용하여 질화된 AISI4140의 화합물층 유무에 따른 기계적 특성 연구

정연주 ,  박현준 ,  김형순 외 1명

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2015 .05

n형 양면 결정질 실리콘 태양전지의 SiN_x/SiO_x 이중층 영향에 관한 연구

박형기 ,  박진주 ,  이준신

Current Photovoltaic Research

2024 .09

박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구

박정은 ,  홍혜권 ,  조영호 외 2명

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2018 .11

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

진공 이송 로봇에서 발생하는 웨이퍼 슬립 측정 및 보정에 대한 연구

정명진

한국생산제조학회 학술발표대회 논문집

2024 .07

디스플레이 공정용 건식 식각 장비의 시뮬레이션 기술

최희환

인포메이션 디스플레이

2015 .01

반도체 식각 장비 개발의 경쟁력

김남헌

한국표면공학회 학술발표회 초록집

2016 .05

고비용 반도체 기판의 재활용 및 광전기화학전지 응용 기술

윤석인 ,  박노창 ,  이용환

한국태양에너지학회 학술대회논문집

2024 .10