진공 챔버에서 사용되는 이송 로봇의 웨이퍼 슬립 보상을 위한 웨이퍼 슬립 측정 방법

정명진

제어로봇시스템학회 국내학술대회 논문집

2023 .06

Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors

H. Kim

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2022 .10

웨이퍼 이송시 스크래치 방지를 위한 웨이퍼이송로봇 기울기 보정에 관한 연구

지용경 ,  사이풀 ,  최성순 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

웨이퍼 이송 로봇 고장진단 및 분류에 관한 연구

Islam Md Saiful ,  지용경 ,  심재홍 외 4명

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

진공흡착 로봇시스템을 이용한 웨이퍼 클리닝 자동화 장비 개발

권소영 ,  김영형 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .12

영상처리 기반 웨이퍼 이송 위치 정밀 측정 시스템 개발

황병훈 ,  오세덕

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2023 .05

다중 분리 처리 로봇 기반 웨이퍼 위치 및 검사 비전 알고리즘 개발

이창용 ,  박송희 ,  박종익 외 2명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .11

Sensor Calibration Algorithm for Precise Wafer Center Alignment of Semiconductor Coater/Developer Equipment Transfer Robots

H. Kim ,  S. J. Lee

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2024 .11

박판 웨이퍼의 적재 시 손상 최소화 기술

이종항

한국산학기술학회 논문지

2021 .01

퍼지제어기와 전류센싱방법을 이용한 모바일 로봇의 Slip현상 추정 및 주행성능 향상

김동언 ,  윤하늘 ,  박선호 외 2명

제어로봇시스템학회 논문지

2017 .04

Automated System for Cleaning Semiconductor Wafer

So-Young Kwon ,  Young-Hyung Kim ,  Jong-Ik Pa 외 3명

한국정보기술학회논문지

2024 .09

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회지

2015 .12

반도체 웨이퍼의 온도 측정에 관한 연구

이욱현 ,  조종표 ,  정학근 외 2명

대한설비공학회 학술발표대회논문집

2015 .06

반응로 내 웨이퍼 배치의 온도장 분석 및 가시화

강승환 ,  이승호 ,  김병훈 외 1명

한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집

2015 .12

자중 변형을 보상한 300 mm 실리콘 웨이퍼의 형상 및 두께 분포 동시측정기술

박주현 ,  강주식 ,  이재용

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2017 .05

전방향 이동로봇의 메카넘휠 특성에 의한 슬립 현상 해석 및 보상 전략

김설하 ,  주백석

한국정밀공학회 학술발표대회 논문집

2019 .05

신발 패턴의 이송을 위한 진공흡착구조 연구

김민우 ,  김명훈 ,  박자연

한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집

2016 .10

비전 얼라이먼트 유닛의 다중 웨이퍼 위치 조정을 위한 비전 알고리즘에 관한 연구

이창용 ,  지연정 ,  박종익 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2021 .06

2차 차수 미끄럼 모델을 이용한 원형제트 분사각 변화에 대한 수치적 연구

차중원 ,  강정석 ,  양시영 외 1명

한국전산유체공학회 학술대회논문집

2019 .05

다중 분리 처리 방식의 로봇 기반 Wafer Cleaning Bath 개발

지연정 ,  박종익 ,  이용환 외 1명

Proceedings of KIIT Conference

2022 .06