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PECVD용 소스를 중심으로 플라즈마 처리장치에 대한 연구
정보 및 제어 논문집
2021 .04
PECVD를 이용한 MoS₂ 반도체 박막의 저온 합성 및 특성 파악
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .04
반도체 건식 식각 및 PECVD시스템에서 진공중 웨이퍼 반송에 따른 상호오염 시뮬레이션
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
수소 환원 온도에 따른 몰리브덴 산화물의 성형 및 상압소결특성 평가
한국분말야금학회지
2024 .08
Wafer Center Alignment System for Wafer Transfer Robot based on Reduced Number of Sensors
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2022 .10
HIT 태양전지에 적용을 위한 MoOx 박막 특성 분석
한국신·재생에너지학회 학술대회 초록집
2016 .11
Integrated Process Sequence of Epitaxy Silicon Wafer Production Using Plasma-Enhanced CVD
AFORE
2023 .11
Resistive Hydrogen Detection Sensors based on 2 Dimensions – Molybdenum Disulfide Decorated by Palladium Nanoparticles
JOURNAL OF SEMICONDUCTOR TECHNOLOGY AND SCIENCE
2023 .10
전극용 몰리브덴 핀 제조-몰리브덴 와이어 표면처리 기술
한국기계기술학회지
2020 .01
An optimization model based on flexible lead times for semiconductor wafer fabrication
대한산업공학회 춘계공동학술대회 논문집
2022 .06
A study on optimization of process condtion to obtain micro molybdenum powder by hydrogen reduction method
한국소성가공학회 학술대회 논문집
2017 .05
Functionalization of Molybdenum Disulfides for Selective Gas Sensing Applications
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2015 .10
Wafer-scale Transistor Arrays Fabricated Using Slot-die Printing of Molybdenum Disulfide and Sodium-embedded Alumina
한국고분자학회 학술대회 연구논문 초록집
2023 .10
전극용 몰리브덴 핀 제조-직선 처리기술 메커니즘 설계
한국기계기술학회지
2020 .01
Tribological Behavior of MoS₂2D Thin Film Synthesized by PECVD Method
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
PECVD Process Chamber 최적 구조에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2019 .10
Optimizing irradiation conditions for natural molybdenum in WWR-K reactor
Nuclear Engineering and Technology
2024 .09
전극용 몰리브덴 핀 제조-몰리브덴 핀 시제작 및 CAE해석
한국기계기술학회지
2020 .01
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