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Screw Type Jig 적용에 따른 반도체용 PECVD Chamber 가공형상정밀도 향상에 관한 연구
한국기계가공학회 춘추계학술대회 논문집
2017 .10
PECVD용 소스를 중심으로 플라즈마 처리장치에 대한 연구
정보 및 제어 논문집
2021 .04
PECVD를 이용한 MoS₂ 반도체 박막의 저온 합성 및 특성 파악
대한기계학회 춘추학술대회
2015 .04
In-Situ Monitoring of Multiple Oxide/Nitride Dielectric Stack PECVD Deposition Process
Transactions on Electrical and Electronic Materials
2018 .02
Tribological Behavior of MoS₂2D Thin Film Synthesized by PECVD Method
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
PECVD법을 이용하여 제작된 DLC 코팅막의 밀착력과 마찰 마모 특성
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2022 .11
반도체 건식 식각 및 PECVD시스템에서 진공중 웨이퍼 반송에 따른 상호오염 시뮬레이션
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2020 .12
PECVD를 이용하여 질화된 AISI4140의 화합물층 유무에 따른 기계적 특성 연구
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2015 .05
75톤급 2단 연소기 챔버 구조해석
한국추진공학회 학술대회논문집
2016 .12
n형 양면 결정질 실리콘 태양전지의 SiNx/SiOx 이중층 영향에 관한 연구
Current Photovoltaic Research
2024 .09
챔버 시스템 내 공기 유동 분석
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2024 .10
적외선 배경신호 처리를 통한 OES 기반 PECVD공정 모니터링 정확도 개선
반도체디스플레이기술학회지
2019 .01
Numerical Analysis for Hydrodynamic Performance of OWC Devices with Multiple Chambers in Waves
한국해양공학회지
2022 .02
Effect of air chambers on the compression wave propagating along a railway tunnel
대한기계학회 춘추학술대회
2021 .11
Synthesis of wafer scale Molybdenum Oxide using PECVD for flexible gas sensor application
대한기계학회 춘추학술대회
2016 .04
다중 목적 최적화 기반 액체 공급층을 갖는 초박형 Vapor chamber의 열전달 특성에 관한 수치해석적 연구
대한기계학회 춘추학술대회
2022 .11
실내오염물질 방출량의 현장측정을 위한 플럭스 챔버의 설계 및 성능 검증 연구
한국태양에너지학회 논문집
2022 .12
열구조하중이 연소기 챔버 및 노즐의 형상변화에 미치는 영향
한국추진공학회 학술대회논문집
2018 .05
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