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실리콘카바이드 플라즈마 에칭 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2019 .05
대기압 플라즈마를 이용한 Si 계 소재 식각 특성
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
Optimization of Plasma Atomic Layer Etch Process for Silicon Carbide
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
CVD-SiC 소재의 가공 특성에 관한 연구
한국기계가공학회지
2017 .10
건식 식각 공정 쿼츠의 제작방식에 따른 부품 식각에 관한 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
Optimized Process Analysis of SiO₂ etch using CFD Simulation
대한전자공학회 학술대회
2017 .01
포커스 링 재질과 구조 차이에 따른 식각률 분석을 통한 건식 식각 장비 사용 주기 연장 연구
대한전자공학회 학술대회
2021 .11
High aspect ratio silicon etching based on Metal-Assisted Chemical Etching process
대한전자공학회 학술대회
2023 .06
모바일 디스플레이용 유리 기판의 미 식각부 두께 최소화를 위한 습식식각 공정조건 최적화
한국기계기술학회지
2015 .01
나노 반도체 소자를 위한 펄스 플라즈마 식각 기술
한국표면공학회지
2015 .12
HARC Etch공정의 SiC Focus Ring을 재생 및 통계적 분석을 통한 재사용 가능 여부에 대한 연구
대한전자공학회 학술대회
2022 .11
단일 필라멘트에 의한 구의 주기적인 자유 낙하 움직임
한국가시화정보학회 학술발표대회 논문집
2024 .10
수소 상압플라즈마를 이용하여 조명용 페로브스카이트 박막 식각시 메탈 마스크 크기와 공정 시간에 따른 형상 변화 연구
조명·전기설비학회논문지
2023 .12
탄화규소 플라즈마 연마 기술 개발
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2018 .10
박형 웨이퍼에 적용가능한 건식 및 습식 식각에 대한 연구
한국태양에너지학회 학술대회논문집
2018 .11
핵융합로 디버터 대면재의 W 접합부 미세조직과 마이크로경도 측정
대한기계학회 논문집 A권
2017 .12
펄스 플라즈마를 이용한 식각
한국표면공학회 학술발표회 초록집
2018 .11
전자빔 건에 사용되는 필라멘트의 온도분포 특성 연구
한국정밀공학회 학술발표대회 논문집
2016 .10
6인치 4H-SiC Wafer기반 SiC Power Diode 소자 제작 및 특성 평가
대한전자공학회 학술대회
2016 .06
유기 킬레이터 물질의 고밀도 플라즈마를 이용한 구리 박막의 나노미터 스케일 식각
전기전자재료학회논문지
2021 .01
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