반도체 산업의 웨이퍼 가공 공정 유해인자 고찰과 활용 - 화학물질과 방사선 노출을 중심으로 -

박동욱

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자료유형: 학술저널

저자정보: 박동욱 (한국방송통신대학교 환경보건학과)

저널정보: 한국산업보건학회 (구 한국산업위생학회) 한국산업보건학회지 한국산업보건학회지 제26권 제1호

발행연도: 2016.1

수록면: 1 - 10 (10page)

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2016

반도체 공장의 유해인자 노출 실태 : 일부 화학물질과 극 저주파 중심

박동욱 , 윤충식 , 최상준 외 3명 대한직업환경의학회 학술대회 논문집 2016.11 학술대회자료

반도체 산업의 웨이퍼 가공 공정 유해인자 고찰과 활용 - 화학물질과 방사선 노출을 중심으로 -

박동욱 한국산업보건학회지 2016.01 학술저널

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Objectives: The aim of this study is to review the results of exposure to chemicals and to extremely low frequency(ELF) magnetic fields generated in wafer fabrication operations in the semiconductor industry. Methods: Exposure assessment studies of silicon wafer fab operations in the semiconductor industry were collected through an extensive literature review of articles reported until the end of 2015. The key words used in the literature search were "semiconductor industry", "wafer fab", "silicon wafer", and "clean room," both singly and in combination. Literature reporting on airborne chemicals and extremely low frequency(ELF) magnetic fields were collected and reviewed. Results and Conclusions: Major airborne hazardous agents assessed were several organic solvents and ethylene glycol ethers from Photolithography, arsenic from ion implantation and extremely low frequency magnetic fields from the overall fabrication processes. Most exposures to chemicals reported were found to be far below permissible exposure limits(PEL) (10% < PEL). Most of these results were from operators who handled processes in a well-controlled environment. In conclusion, we found a lack of results on exposure to hazardous agents, including chemicals and radiation, which are insufficient for use in the estimation of past exposure. The results we reviewed should be applied with great caution to associate chronic health effects.

#ELF #retrospective exposure #wafer fabrication operation

참고문헌 (31)

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Abdollahzadeh S / 1995 / A model for assessing occupational exposure to extremely low-frequency magnetic fields in fabrication rooms in the semiconductor health study / Am J Ind Med 28:723~734

Baldwin D / 1988 / Ion Implanters-Chemical and radiation safety / Solid State Technol 31:99~105

Bender TJ / 2007 / Cancer incidence among semiconductor and electronic storage device workers / Occup Environ Med 64:30~36

Boice JD / 2010 / Cancer Mortality Among US Workers Employed in Semiconductor Wafer Fabrication / J Occup Environ Med 52:1082~1097

Bowman JD / 2007 / A populationbased job exposure matrix for power-frequency magnetic fields / J Occup Environ Hyg 4:715~728

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박동욱

소속기관 한국방송통신대학교 환경보건학과

주요연구분야 의약학 > 기초의학 > 예방의학·직업환경의학

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