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자료유형
학술저널
저자정보
여진희 (삼성전자 건강연구소) 최광민 (삼성전자 건강연구소)
저널정보
한국산업보건학회 (구 한국산업위생학회) 한국산업보건학회지 한국산업보건학회지 제26권 제3호
발행연도
2016.1
수록면
301 - 306 (6page)

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Objectives: Direct-reading instrument(Photoionization detectors, PID) and quantitative analysis using active type air sampling (Gas chromatography-flame ionization detector, GC-FID) were tested to evaluate their ability to detect volatile organic compounds(VOCs) in a semiconductor manufacturing plant. Methods: The organic compounds used were acetone and ethanol which are normally used as cleaning solutions in the semiconductor manufacturing. The evaluation was based on the preparation of test solutions of known acetone and ethanol concentration in a chamber($600{\times}600{\times}1150mm$). Samples were prepared that would be equivalent to 5~100 ppm for acetone and 10~ 200 ppm ethanol. GC-FID and PID were evaluated simultaneously. Quantitative analysis was performed after sampling and the direct-reading instrument was checked using real-time data logging. Results: Positive correlations between PID and GC-FID were found for acetone and ethanol at 0.04~2.4% for acetone(TLV: 500 ppm) and 0.1~8.3% for ethanol(TLV: 1000 ppm). When the sampling time was 15 min, concentration of test solution was the most similar between measurement methods. However, the longer the sampling time, the less similar the results. PID and GC-FID had similar exposure patterns. Conclusions: The results indicate that PID and GC-FID have similar exposure pattern and positive correlation for detection of acetone and ethanol. Therefore, PID can be used for exposure monitoring for VOCs in the semiconductor manufacturing industry. This study has significance in that it validates measuring occupational exposure using a portable device.
#GC-FID #PID #semiconductor #volatile organic compounds

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최광민 / 2015 / 반도체 웨이퍼 제조공정 클린룸 구조, 공기조화 및 오염제어시스템 / 한국산업보건학회지 25(2):202~210 dbpia Coffey CC / 2008 / Measurement capability of field portable organic vapor monitoring instruments under different experimental conditions / J Occup Environ Hyg 6(1):1~8 google schola Coffey CC / 2010 / Direct-reading methods for workplace air monitoring / J Chemical Health & Safety 17(3):10~21 google schola Coffey CC / 2012 / Effect of calibration and environmental condition on the performance of direct-reading organic vapor monitors / J Occup Environ Hyg 9(11):670~680 google schola Coy JD / 2000 / Field evaluation of a portable photoionization detector for assessing exposure to solvent mixtures / American Industrial Hygiene Association 61(2):268~274 google schola

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