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학술저널
저자정보
손익부 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실) 김영섭 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실) 노영철 (광주과학기술원 고등광기술연구소 미세광학연구실)
저널정보
한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제13권 제1호
발행연도
2010.1
수록면
11 - 15 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

2010

펨토초 레이저를 이용한 플렉시블 ITO 패터닝 연구
손익부 ,  김영섭 ,  노영철 한국레이저가공학회지 2010.01 학술저널

2009

펨토초 레이저를 이용한 미세 PR 패터닝
손익부 ,  고명진 ,  김영섭 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.06 학술저널

2005

펨토초 레이저를 이용한 미세 패터닝 기술
손익부 ,  이만섭 ,  우정식 외 2명 한국레이저가공학회지 2005.01 학술저널
펨토초 레이저를 이용한 세라믹과 실리카 패터닝
손익부 ,  이만섭 ,  이상만 외 2명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2005.01 학술대회자료

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Indium tin oxide (ITO) provides high electrical conductivity and transparency in the visible and near IR (infrared) wavelengths. Thus, it is widely used as a transparent electrode for the fabrication of liquid crystal displays (LCDs) and organic light emitting diode displays (OLRDs), photovoltaic devices, and other optical applications. Lasers have been used for removing coating on polymer substrate for flexible display and electronic industry. In selective removal of ITO layer, laser wavelength, pulse energy, scan speed, and the repetition rate of pulses determine conditions, which are efficient for removal of ITO coating without affecting properties of the polymer substrate. ITO coating removal with a laser is more environmentally friendly than other conventional etching methods. In this paper, pattering of ITO film from polymer substrates is described. The Yb:KGW femtosecond laser processing system with a pulse duration of 250fs, a wavelength of 1030nm and a repetition rate of 100kHz was used for removing ITO coating in air. We can remove the ITO coating using a scanner system with various pulse energies and scan speeds. We observed that the amount of debris is minimal through an optical and a confocal microscope, and femtosecond laser pulses with 1030nm wavelength are effective to remove ITO coating without the polymer substrate ablation.
#Femtosecond laser #Laser patterning #Flexible display #Indium-tin oxide #Thin film #ITO

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