펨토초 레이저를 이용한 미세 패터닝 기술

손익부; 이만섭; 우정식; 이상만; 정정용

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자료유형: 학술저널

저자정보: 손익부 (한국정보통신대학교) 이만섭 (한국정보통신대학교) 우정식 (&#12828) 이상만 (포코) 정정용 (&#12828)

저널정보: 한국레이저가공학회 한국레이저가공학회지 한국레이저가공학회지 제8권 제1호

발행연도: 2005.1

수록면: 39 - 44 (6page)

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연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (4)

2010

펨토초 레이저를 이용한 플렉시블 ITO 패터닝 연구

손익부 , 김영섭 , 노영철 한국레이저가공학회지 2010.01 학술저널

2009

펨토초 레이저를 이용한 미세 PR 패터닝

손익부 , 고명진 , 김영섭 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.06 학술저널

2005

펨토초 레이저를 이용한 미세 패터닝 기술

손익부 , 이만섭 , 우정식 외 2명 한국레이저가공학회지 2005.01 학술저널

펨토초 레이저를 이용한 세라믹과 실리카 패터닝

손익부 , 이만섭 , 이상만 외 2명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2005.01 학술대회자료

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We report experimental results on the periodic patterning using a Ti:sapphire femtosecond laser (800nm, 100fs, 1kHz). Periodic structures with reproducible basic patterns are produced both on the surface and inside transparent materials. Period patterning for the application to display panel is widely investigated. Also, the submicron dot and line patterns are fabricated inside fused silica glass, which is important for the formation of diffraction grating in integrated optical circuit. finally, we demonstrate the utility of the femtosecond laser application to optical memory by fabricating the three-dimensional dot patterns.

#Femtosecond laser processing #Micromachining #Submicron patterning

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