펨토초 레이저를 이용한 미세 PR 패터닝

손익부; 고명진; 김영섭; 노영철

추천

검색

질문

자료유형: 학술저널

저자정보: 손익부 고명진 김영섭 노영철

저널정보: Korean Society for Precision Engineering Journal of the Korean Society for Precision Engineering 한국정밀공학회지 Vol.26 No.6

발행연도: 2009.6

수록면: 36 - 41 (6page)

이용수

📌

연구주제

📖

연구배경

🔬

연구방법

🏆

연구결과

이 논문의 연구 히스토리 (4)

2010

펨토초 레이저를 이용한 플렉시블 ITO 패터닝 연구

손익부 , 김영섭 , 노영철 한국레이저가공학회지 2010.01 학술저널

2009

펨토초 레이저를 이용한 미세 PR 패터닝

손익부 , 고명진 , 김영섭 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2009.06 학술저널

2005

펨토초 레이저를 이용한 미세 패터닝 기술

손익부 , 이만섭 , 우정식 외 2명 한국레이저가공학회지 2005.01 학술저널

펨토초 레이저를 이용한 세라믹과 실리카 패터닝

손익부 , 이만섭 , 이상만 외 2명 한국레이저가공학회 학술대회 논문집 2005.01 학술대회자료

이 논문의 후속연구가 궁금하신가요?
연관 학술논문 또는 학술발표를 통해 보다 발전된 연구결과를 확인하실 수 있습니다.
이 논문의 연구 히스토리 확인하기

초록· 키워드

오류제보하기

Development of maskless lithography techniques can provide a potential solution for the photomask cost issue. Furthermore, it could open a market for small scale manufacturing applications. Since femtosecond lasers have been found suitable for processing of a wide range of materials with sub-micrometer resolution, it is attractive to use this technique for maskless lithography. As a femtosecond laser has recently been developed, both of high power and high photon density are easily obtained. The high photon density results in photopolymerization of photoresist whose absorption spectrum is shorter than that of the femtosecond laser. The maskless lithography using the two-photon absorption (TPA) makes micro structures. In this paper, we present a femtosecond laser direct write lithography for submicron PR patterning, which show great potential for future application.

#Femtosecond Laser Ablation(펨토초 레이저 가공) #Photoresist(포토레지스트) #PR Patterning(패터닝) #Maskless Lithography(리소그라피)

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

참고문헌이 DBpia에서 서비스 중이라면, [참고문헌 신청]을 통해 등록해보세요

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

손익부

소속기관 광주과학기술원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학

논문수 37 이용수 2,605

고명진

소속기관 한국생산기술연구원

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 42 이용수 1,456

김영섭

소속기관 애니모션텍

주요연구분야 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 6 이용수 552

Young-Chul Noh

소속기관 광주과학기술원

주요연구분야 자연과학 > 물리학 공학 > 기계공학 > 기계공학 일반

논문수 50 이용수 2,363

이 논문과 함께 이용한 논문

피코초 레이저를 이용한 Eagle Glass 절단 시 가공성 평가

이상균 , 이영곤 , 김재도 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2013 .04

Laser Ablation of Polypropylene Films using Nanosecond, Picosecond, and Femtosecond Laser

Ik-Bu Sohn , Young-Chul Noh , Young-Seop Kim 외 2명 Current Optics and Photonics 2008 .03

펨토초 레이저의 원리 및 응용

김영진 , 김윤석 , 김승만 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2010 .06

Laser Micro-Structuring of Super-Hydrophobic Surface for Lotus Effect

이창준 , 최훈국 , 손익부 외 1명 Journal of the Korean Society for Precision Engineering 2023 .04

다방향 조사가 가능한 광섬유 팁 해석 및 제작

정덕 , 손익부 , 노영철 외 3명 한국광학회지 2014 .08

최근 본 자료

전체보기

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2009-555-018345269

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	원문	원문 PDF 파일
AI 학습용 데이터	원문 + 메타 (기본/상세)	원문 PDF 파일 및 서지정보 CSV
대량 구매용 데이터	B2B 구독 방식	특정 자료 한정으로 원문 접근 권한 부여
대량 구매용 데이터	URL 전달 방식	바로 PDF 뷰어를 열람할 수 있는 URL 제공

구분	그룹	데이터 항목
AI 학습용 데이터	기본 메타	발행기관명, 간행물명, 권호명, 권(vol), 호(issue), 통권, 발행연도, 발행월, 논문명, 저자명, 시작페이지, 종료페이지, 전체페이지, 상세페이지URL
상세 메타 데이터	발행기관 메타	발행기관 이명, 영문명, 창립연도, 홈페이지URL, 발행기관 소개
	간행물 메타	부제목, 간행물 유형, ISSN, ISBN, 최초발행연도, 폐간연도, 간행빈도, 발행주기, 등재사항, 이용수, 피인용수, 권호수, 논문수, 표지이미지
	논문 메타	작성 언어, 부제목, 대등제목, 목차, 키워드, 초록, 이미지, 참고문헌, 이용수, 피인용수, 논문활용도, DBpia통합주제분류, KDC분류, DDC분류, 한국연구재단분류, UCI, DOI
	저자 메타	소속기관, 소속부서, 직급, 연구분야, 연구키워드, 이용수, 피인용수, 저자 논문활용도

구분	그룹	데이터 항목
※ 결합형/맞춤형 메타 데이터는 신청 내용에 따라 다양하게 제공 가능
이용순위 정보	주제분야별 많이 이용된 논문	“인문학”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	이용기관별 많이 이용된 논문	“중고등학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	세부기관별 많이 이용된 논문	“서울대학교”에서 많이 이용된 논문 TOP100
	키워드별 많이 이용된 논문	“Chat GPT”에서 많이 이용된 논문 TOP100
키워드 정보	많이 이용된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 이용된 키워드
	많이 발행된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 발행된 키워드
	많이 검색된 키워드	특정기간/분야/저널 내 많이 검색된 키워드
	연구 트렌드 키워드	특정 키워드 연관 연구동향 분석 데이터 키워드

논문 기본 정보

이 논문의 연구 히스토리 (4)

초록· 키워드

AI 요약

연구주제

연구배경

연구방법

연구결과

주요내용

목차

참고문헌 (0)

함께 읽어보면 좋을 논문

이 논문의 저자 정보

이 논문과 함께 이용한 논문

최근 본 자료

댓글(0)