Electrical/Microstructural Characterization of Dielectric Thin Films Prepared on Transparent Substrates

You, Iyl-Hwan; Hwang, Jin-Ha

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자료유형: 학술저널

저자정보: You, Iyl-Hwan (Dept. of Mat. Sci. & Eng., College of Engineering, Hongik University) Hwang, Jin-Ha (Dept. of Mat. Sci. & Eng., College of Engineering, Hongik University)

저널정보: 한국반도체디스플레이기술학회 반도체및디스플레이장비학회지 반도체및디스플레이장비학회지 제7권 제1호

발행연도: 2008.1

수록면: 53 - 57 (5page)

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$Pb(ZrTi)O_3$ thin films were prepared on transparent conducting oxides, through sol-gel processing. The processing variables such as spin velocity, spin time and annealing temperature were investigated using a statistical design of experiments. Dielectric properties were determined through capacitance-voltage measurements and electrical characterizations evaluated using current-voltage characteristics. The leakage currents is determined mainly by annealing. The capacitance and breakdown voltage is found to be independent of the processing variables. The sophisticatedly controlled PZT thin films have been confirmed through microscopic images.

#$Pb #ZrTi)O_3$ #Dielectric Properties #Electrical Properties #Annealing Temperature

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You, Iyl-Hwan

소속기관 Dept. of Mat. Sci. & Eng., College of Engineering, Hongik University

주요연구분야 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 1 이용수 0

Hwang, Jin-Ha

소속기관 Department of Materials Science & Engineering Hong-Ik University

주요연구분야 공학 > 재료·에너지공학 > 재료공학 공학 > 전기전자공학 > 전기공학

논문수 12 이용수 16

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